恭喜江苏通用半导体有限公司闫兴获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏通用半导体有限公司申请的专利一种晶圆UV解胶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115148642B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210864535.8,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种晶圆UV解胶机是由闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林设计研发完成,并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆UV解胶机在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶圆UV解胶机,包括:机箱,顶部开口;紫外灯,设置于机箱内;置物机构,活动贯穿机箱的侧壁,置物机构与机箱的内壁滑动连接且滑动进出机箱,置物机构位于紫外灯的上方且用于盛装晶圆;机盖,设置于机箱的顶部,机盖的一端与机箱铰接;格挡机构,沿置物机构的滑动方向设置于置物机构的顶部,格挡机构包括依次连接的若干格挡块;弹性限位机构,设置于机盖上,弹性限位机构与格挡机构相配合,弹性限位机构不阻碍格挡块朝向靠近机箱的一侧移动,弹性限位机构阻碍格挡块朝向远离机箱的一侧移动。本发明弹性限位机构不阻碍置物机构滑入机箱内,阻碍置物机构滑出机箱,有效防止正常工作过程中晶圆意外离开紫外灯照射的工作区域。
本发明授权一种晶圆UV解胶机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆UV解胶机,其特征在于:包括:机箱(1),所述机箱(1)的顶部开口;紫外灯(6),所述紫外灯(6)设置于机箱(1)内;置物机构(3),所述置物机构(3)活动贯穿机箱(1)的侧壁,所述置物机构(3)与机箱(1)的内壁滑动连接且滑动进出机箱(1),所述置物机构(3)位于紫外灯(6)的上方且用于盛装晶圆;机盖(2),所述机盖(2)设置于机箱(1)的顶部,所述机盖(2)的一端与机箱(1)铰接;格挡机构(4),所述格挡机构(4)沿置物机构(3)的滑动方向设置于置物机构(3)的顶部,所述格挡机构(4)包括依次连接的若干格挡块(41);弹性限位机构(5),所述弹性限位机构(5)设置于机盖(2)上,所述弹性限位机构(5)与格挡机构(4)相配合,所述弹性限位机构(5)不阻碍格挡块(41)朝向靠近机箱(1)的一侧移动,所述弹性限位机构(5)阻碍格挡块(41)朝向远离机箱(1)的一侧移动;所述格挡块(41)的顶部呈倾斜的坡度,所述格挡块(41)靠近机箱(1)的一端的高度低于远离机箱(1)的一端的高度;所述弹性限位机构(5)包括设置于机盖(2)上的固定座(51)、可拆卸设置于固定座(51)上的轴组件(52)、转动套设于轴组件(52)上的限位组件(53)、安装于限位组件(53)和固定座(51)之间的弹簧(54);限位组件53与格挡块41接触配合,限位组件53能够在轴组件52上转动,同时,弹簧54给限位组件53提供复位力,确保限位组件53与格挡块41配合良好。
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