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龙图腾网恭喜浙江工业大学申请的专利一种高响应灵敏度的催化燃烧式氢气传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114813856B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210366188.6，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种高响应灵敏度的催化燃烧式氢气传感器及其制备方法是由谢波;胡军;李增辉;钱浩宇设计研发完成，并于2022-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高响应灵敏度的催化燃烧式氢气传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种高响应灵敏度的催化燃烧式氢气传感器及其制备方法，所述催化燃烧式氢气传感器包括催化燃烧元件和补偿元件，所述催化燃烧元件和补偿元件都是以云母片为绝缘衬底，并且在云母片衬底的正面上依次附着铂电阻和氧化铝薄膜载体的平面结构；其中，催化燃烧元件的正反两面都沉积有一层催化剂材料，正面沉积的催化剂材料是附着在氧化铝薄膜载体外表面，反面沉积的催化剂材料是附着在云母片衬底背面上作为增敏元件。本发明提出的催化燃烧式氢气传感器，催化燃烧式主体元件采用平面结构具有制备工艺简单、结构性能稳定的特点。同时，在催化燃烧元件的正反两面都沉积催化剂，显著增强了催化效果，使得器件的灵敏度大幅提高。

本发明授权一种高响应灵敏度的催化燃烧式氢气传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高响应灵敏度的催化燃烧式氢气传感器，其特征在于包括催化燃烧元件和补偿元件，所述催化燃烧元件和补偿元件都是以云母片为绝缘衬底，并且在云母片衬底的正面上依次附着铂电阻和氧化铝薄膜载体的平面结构；其中，催化燃烧元件的正反两面都沉积有一层催化剂材料，正面沉积的催化剂材料是附着在氧化铝薄膜载体外表面，反面沉积的催化剂材料是附着在云母片衬底背面上作为增敏元件；催化燃烧元件的正反两面沉积的催化剂材料均为钯催化剂；钯催化剂为钯纳米粒子，催化燃烧元件正面沉积的钯纳米粒子沉积范围覆盖整个氧化铝薄膜载体的区域表面，正面沉积的钯纳米粒子的粒径尺寸5~20nm；催化燃烧元件反面沉积的钯纳米粒子沉积范围覆盖催化燃烧元件区域的整个云母片衬底背面，反面沉积的钯纳米粒子的粒径尺寸1~20nm；所述的一种高响应灵敏度的催化燃烧式氢气传感器的制备方法，包括以下步骤：1）将掩模板贴于云母表面，利用磁控溅射镀膜法先在云母片表面镀金属钛或者铬作为黏附层，然后同样利用磁控溅射镀膜法进一步镀铂层得到铂电阻结构；2）在铂电阻位置上镀氧化铝薄膜载体层，氧化铝薄膜载体层通过射频磁控溅射镀膜法镀膜形成，同样利用掩模板实现选区镀膜，镀膜区域覆盖整个铂电阻分布的表面；3）按照上述步骤1）~2）的方法，制备得到补偿元件和催化燃烧元件中间体；4）使用团簇束流沉积设备在催化燃烧元件中间体的正反两面都沉积有一层钯纳米粒子，正面沉积的钯纳米粒子附着并覆盖在整个氧化铝薄膜分布的区域表面，反面沉积的钯纳米粒子附着并覆盖在整个云母片衬底背面。

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