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龙图腾网恭喜歌尔微电子股份有限公司申请的专利一种微机电系统麦克风及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116939454B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210343062.7，技术领域涉及：H04R19/00；该发明授权一种微机电系统麦克风及电子设备是由邹泉波设计研发完成，并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微机电系统麦克风及电子设备在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种微机电系统麦克风及电子设备。该微机电系统麦克风包括衬底、振膜和背极板。振膜具有固定部和悬空部，背极板上形成有支撑结构，支撑结构将悬空部划分为内悬空区和外悬空区。本公开通过创造性地设置支撑结构，将振膜划分为内悬空区和外悬空区，以提高位于支撑结构内部的内悬空区的相对硬度，进而能够在保证产品频率带宽的同时增大振膜面积，降低噪音，提高信噪比，提高麦克风产品整体性能。

本发明授权一种微机电系统麦克风及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统麦克风，其特征在于，包括：衬底（1），所述衬底（1）上形成声腔（001）；振膜（2），所述振膜（2）具有固定部（21）和悬空部（22），所述固定部（21）固定在所述衬底（1）上，所述悬空部（22）位于所述声腔（001）上；背极板（3），所述背极板（3）设置在所述衬底（1）上，所述背极板（3）与所述振膜（2）之间形成有间隙，所述背极板（3）上形成有环形分布的支撑结构（31），所述支撑结构（31）朝向所述振膜（2）延伸并且与所述悬空部（22）的位置对应，所述支撑结构（31）将所述悬空部（22）划分为内悬空区（221）和外悬空区（222）；在所述背极板（3）和或振膜（2）通电的情况下，所述悬空部（22）被配置为能与所述支撑结构（31）抵接，使所述内悬空区（221）和所述外悬空区（222）均能被声压激发产生振动；所述内悬空区（221）的机械灵敏度和所述外悬空区（222）的机械灵敏度的差值小于或等于15%；所述内悬空区（221）的临界电压和所述外悬空区（222）的临界电压的差值小于或等于15%，使得所述悬空部（22）的所述内悬空区（221）与所述外悬空区（222）的电信号保持一致。

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