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恭喜爱思开海力士有限公司具元泰获国家专利权

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龙图腾网恭喜爱思开海力士有限公司申请的专利包括包含金属-有机框架的层间绝缘结构的半导体装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115224043B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210186198.1,技术领域涉及:H10B43/35;该发明授权包括包含金属-有机框架的层间绝缘结构的半导体装置是由具元泰;韩在贤;李世昊设计研发完成,并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

包括包含金属-有机框架的层间绝缘结构的半导体装置在说明书摘要公布了:本申请涉及包括包含金属‑有机框架的层间绝缘结构的半导体装置。根据本公开的实施方式的半导体装置包括:基板;栅极结构,其设置于基板上方;介电结构,其在基板上方设置为接触栅极结构的侧壁表面;以及沟道层,其在基板上方设置在介电结构的侧壁表面上。栅极结构包括交替层叠的栅电极层和层间绝缘结构。层间绝缘结构包括金属‑有机框架层。

本发明授权包括包含金属-有机框架的层间绝缘结构的半导体装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体装置,该半导体装置包括:基板;栅极结构,所述栅极结构设置于所述基板上方,所述栅极结构包括交替层叠的栅电极层和层间绝缘结构;介电结构,所述介电结构在所述基板上方设置为接触所述栅极结构的侧壁表面;以及沟道层,所述沟道层在所述基板上方设置在所述介电结构的侧壁表面上,其中,所述层间绝缘结构包括金属-有机框架层和内绝缘层,其中,所述金属-有机框架层在垂直方向上接触所述栅电极层的表面,其中,所述内绝缘层与所述栅电极层间隔开,并且在所述垂直方向上填充所述金属-有机框架层之间的整个空间,并且其中,所述内绝缘层包括氧化物、氮化物和氮氧化物中的任一种。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人爱思开海力士有限公司,其通讯地址为:韩国京畿道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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