恭喜长江存储科技有限责任公司阳涵获国家专利权
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龙图腾网恭喜长江存储科技有限责任公司申请的专利三维存储器、三维存储器的制作方法及存储系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114388530B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210061913.9，技术领域涉及：H10B43/35；该发明授权三维存储器、三维存储器的制作方法及存储系统是由阳涵;徐文祥;张磊;周文斌;霍宗亮;方秦设计研发完成，并于2022-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本三维存储器、三维存储器的制作方法及存储系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种三维存储器、三维存储器的制作方法及存储系统，该三维存储器的制作方法包括：在衬底上形成堆叠结构，堆叠结构包括多个堆叠区域以及在第一方向上位于相邻堆叠区域之间的栅线缝隙区；形成贯穿堆叠区域中的堆叠结构的多个沟道孔、以及贯穿栅线缝隙区中的堆叠结构的多个虚拟沟道孔；形成贯穿栅线缝隙区中的堆叠结构的栅线狭缝，以去除多个虚拟沟道孔并将相邻堆叠区域中的堆叠结构分隔开，从而在堆叠区域中刻蚀形成沟道孔的过程中，能够避免由于栅线缝隙区形成的刻蚀材料易在靠近栅线缝隙区的沟道孔中堆积，而导致靠近栅线缝隙区的沟道孔刻蚀不足的问题，以提高最终形成的三维存储器的性能。
本发明授权三维存储器、三维存储器的制作方法及存储系统在权利要求书中公布了：1.一种三维存储器的制作方法，其特征在于，包括：在衬底上形成堆叠结构，所述堆叠结构包括多个堆叠区域以及在第一方向上位于相邻所述堆叠区域之间的栅线缝隙区；形成贯穿所述堆叠区域中的所述堆叠结构的多个沟道孔、以及在形成所述多个沟道孔的过程中形成贯穿所述栅线缝隙区中的所述堆叠结构的多个虚拟沟道孔；形成贯穿所述栅线缝隙区中的所述堆叠结构的栅线狭缝，以去除所述多个虚拟沟道孔并将相邻所述堆叠区域中的所述堆叠结构分隔开。
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