恭喜南京信息工程大学倪海彬获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京信息工程大学申请的专利基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114114830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111002208.3,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法是由倪海彬;赵悦;倪波;刘慧研;张思嘉;常建华设计研发完成,并于2021-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法,所述方法包括步骤:在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶,采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构;对圆环结构进行反应离子刻蚀,得到环形腔结构,并在环形腔结构内加入NOA之后揭下,得到周期圆柱;在周期圆柱上涂压印胶,待纳米压印胶固化后撕下得到压印胶上的周期环形腔结构;对周期环形腔结构进行加热,加热后会改变环形腔结构上边缘的弧度以及圆柱的弧度,通过加热不同的时间使边缘产生不同的形变,再在周期环形腔结构镀铝膜;激发周期环形腔结构表面等离激元,从而在不同程度形变处显示出不同颜色。本发明基于金属环形腔结构的高分辨率显示器提高了像素分辨率,解决了颜色染料的污染问题,染色像素的大小问题。
本发明授权基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法在权利要求书中公布了:1.基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法,其特征在于,所述方法包括步骤:在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶,采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构;对圆环结构进行反应离子刻蚀,得到环形腔结构,并在环形腔结构内加入NOA之后揭下,得到周期圆柱;在周期圆柱上涂纳米压印胶,待纳米压印胶固化后撕下得到压印胶上的周期环形腔结构;对在不同区域的周期环形腔结构加热不同时间,再在周期环形腔结构镀铝膜;激发周期环形腔结构表面等离激元,显示出不同颜色。
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