恭喜蒂森克虏伯钢铁欧洲股份公司雅尼娜-克里斯蒂娜·绍尔-帕斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜蒂森克虏伯钢铁欧洲股份公司申请的专利用于在基底上沉积涂层材料的涂层装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115777027B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180048671.3,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权用于在基底上沉积涂层材料的涂层装置是由雅尼娜-克里斯蒂娜·绍尔-帕斯;克里斯蒂安·施韦尔特;迈克尔·施特拉克;毛里齐奥·乔治;斯拉夫乔·托帕尔斯基;阿克塞尔·茨维克;特哈·罗赫设计研发完成,并于2021-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于在基底上沉积涂层材料的涂层装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种涂层装置1,其具有真空室8、坩埚6、用于预加工涂层材料的至少一个喷头7和喷射管5,其中喷射管5设计为将预加工的涂层材料导引至坩埚6并且与坩埚6连接,其中至少一个喷头7在运行位置和取出位置之间是可移动的,在运行位置中,喷头7向喷射管5供给预加工的涂层材料,并且其中设置有至少一个设计为从真空室8之外可接近的取出室12,该取出室相对于真空室8是可密封的,并且在该取出室中至少一个喷头7在其取出位置中布置为相对于真空室8气密地分离。
本发明授权用于在基底上沉积涂层材料的涂层装置在权利要求书中公布了:1.用于在基底上沉积涂层材料的涂层装置1,具有真空室8、布置在所述真空室8之内的坩埚6、用于预加工所述涂层材料的至少一个喷头7和布置在所述真空室8之内的喷射管5,其中所述喷射管5被设计为将在所述至少一个喷头7中预加工的涂层材料导引至所述坩埚6并且与所述坩埚6连接,其中所述至少一个喷头7具有用于所预加工的所述涂层材料的排出口17并且被设计为在运行位置和取出位置之间是能移动的,在所述运行位置中,所述至少一个喷头7以向所述喷射管5供给所预加工的所述涂层材料的方式布置,并且其中设置有至少一个被设计为从所述真空室8之外能接近的取出室12,该取出室被设计为相对于所述真空室8是能密封的,并且在该取出室中最少有所述至少一个喷头7的所述排出口17在所述喷头7的所述取出位置中布置为相对于所述真空室8气密地分离,其特征在于,其中所述喷射管5具有锁止阀14,所述锁止阀被设计为在释放位置和锁定位置之间是能移动的,其中所述锁止阀14在所述锁定位置中阻断穿过所述喷射管5的通流。
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