恭喜株式会社荏原制作所宫崎充获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利清洗部件安装机构及基板清洗装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113751448B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110614631.2,技术领域涉及:B08B11/00;该发明授权清洗部件安装机构及基板清洗装置是由宫崎充;藤本友章;井上拓也设计研发完成,并于2021-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗部件安装机构及基板清洗装置在说明书摘要公布了:一种清洗部件安装机构及基板清洗装置,清洗部件安装机构具有:清洗部件保持部200,该清洗部件保持部能够安装具有用于对基板W进行清洗的清洗部件的清洗部件组件100;部件旋转部180,该部件旋转部使由所述清洗部件保持部200保持的所述清洗部件组件100旋转;以及移动部150,该移动部使所述清洗部件保持部200以拆卸了所述清洗部件组件100的状态沿着轴向进行移动,并且定位于限制所述清洗部件保持部200的旋转的旋转固定位置。
本发明授权清洗部件安装机构及基板清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种清洗部件安装机构,其特征在于,具备:清洗部件保持部,该清洗部件保持部能够安装具有用于对基板进行清洗的清洗部件的清洗部件组件;部件旋转部,该部件旋转部使由所述清洗部件保持部保持的所述清洗部件组件旋转;以及移动部,该移动部使所述清洗部件保持部以拆卸了所述清洗部件组件的状态沿着轴向进行移动,并且定位于限制所述清洗部件保持部的旋转的旋转固定位置,所述清洗部件保持部具有在周缘外侧突出的周缘突出部,所述周缘突出部与收容所述清洗部件保持部的至少一部分的收容部的内表面面接触,并且所述周缘突出部被按压向所述收容部的内表面,从而限制所述清洗部件保持部的旋转。
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