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龙图腾网恭喜上海交通大学申请的专利355nm F-theta紫外场镜光路构造装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112859293B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110192601.7，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权355nm F-theta紫外场镜光路构造装置是由谷朝臣;王臻设计研发完成，并于2021-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本355nm F-theta紫外场镜光路构造装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种355nmF‑theta紫外场镜光路构造装置，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nmF‑theta紫外场镜光路构造装置中。本发明通过合理的光路构型，在有效保证入射光束直径的情况下，实现了大视场、高质量扫描。

本发明授权355nm F-theta紫外场镜光路构造装置在权利要求书中公布了：1.一种355nmF-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；所述透镜部件的数量为4个；所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nmF-theta紫外场镜光路构造装置中；所述第一透镜部件的焦距f1与场镜焦距f的比值f1f的取值如下：-0.41≤f1f≤-0.28；所述第二透镜部件的焦距f2与场镜焦距f的比值f2f的取值如下：0.85≤f2f≤1.2；所述第三透镜部件的焦距f3与场镜焦距f的比值f3f的取值如下：0.45≤f3f≤0.86；所述第四透镜部件的焦距f4与场镜焦距f的比值f4f的取值如下：1.72≤f4f≤3.45。

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