恭喜川崎重工业株式会社清水一平获国家专利权
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龙图腾网恭喜川崎重工业株式会社申请的专利基板搬运机器人获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115996824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080103687.5,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权基板搬运机器人是由清水一平;高氏龙之介设计研发完成,并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板搬运机器人在说明书摘要公布了:该基板搬运机器人100具备线缆引导部5,该线缆引导部5配置有机器人线缆101并以追随于与臂2的升降一起移动的机器人线缆101的方式变形,上述机器人线缆101配置于壳体4的内部并且从臂2延伸。
本发明授权基板搬运机器人在权利要求书中公布了:1.一种基板搬运机器人,其中,所述基板搬运机器人具备:基板保持机械手;臂,使所述基板保持机械手移动;臂升降机构,使所述臂升降;柱状的壳体,覆盖所述臂升降机构;以及线缆引导部,配置有机器人线缆并以追随于与所述臂的升降一起移动的所述机器人线缆的方式变形,所述机器人线缆配置于所述壳体的内部并且从所述臂延伸,所述机器人线缆包括:第1线缆部分,配置于所述线缆引导部,并与所述臂的升降一起移动;和第2线缆部分,配置于所述线缆引导部的外部,并且被固定而不与所述臂的升降一起移动,该第2线缆部分沿着铅垂方向延伸,所述基板搬运机器人还具备连接器,该连接器设置于所述第2线缆部分的端部,并与控制所述基板搬运机器人的设置于所述壳体的外部的机器人控制部连接,在所述壳体的内部设置有沿着铅垂方向配置的板状的部件,所述线缆引导部的端部被固定于该板状的部件,所述第2线缆部分越过所述板状的部件的上端并沿着所述板状的部件配置在所述板状的部件与所述壳体之间。
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