恭喜朗姆研究公司斯蒂芬·托平获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利调谐电路中基于频率的阻抗调整获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730688B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078827.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权调谐电路中基于频率的阻抗调整是由斯蒂芬·托平;卡尔·弗雷德里克·利瑟;大卫·弗伦奇;吉恩·吉米·王;布兰特·亨利设计研发完成，并于2020-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本调谐电路中基于频率的阻抗调整在说明书摘要公布了：一种用于在处理室内处理衬底的衬底处理系统包括匹配网络、第一调谐电路和控制器。所述匹配网络从RF产生器接收具有第一频率的第一RF信号并且使所述匹配网络的输入与所述RF产生器的输出阻抗匹配。所述调谐电路不同于所述匹配网络且包含具有第一阻抗的电路部件。所述调谐电路接收所述匹配网络的输出并且将第二RF信号输出至衬底支撑件的第一电极。所述控制器确定用于所述电路部件的目标阻抗并且基于所述目标阻抗，对所述RF产生器发出信号，以将在所述匹配网络处接收到的所述第一RF信号的所述第一频率调整为第二频率，从而改变所述电路部件的所述第一阻抗以匹配所述目标阻抗。
本发明授权调谐电路中基于频率的阻抗调整在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其包含：匹配网络，其被配置成从射频产生器接收具有第一频率的第一射频信号并且使所述匹配网络的输入与所述射频产生器的输出阻抗匹配；第一调谐电路，其不同于所述匹配网络且包含具有第一阻抗的第一电路部件，所述第一调谐电路被配置成接收所述匹配网络的输出并且将第二射频信号输出至衬底支撑件中的第一电极；以及控制器，其被配置成确定用于所述第一电路部件的目标阻抗并且基于所述目标阻抗，对所述射频产生器发出信号，以将在所述匹配网络处接收到的所述第一射频信号的所述第一频率调整为第二频率，从而改变所述第一电路部件的所述第一阻抗以匹配所述目标阻抗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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