恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司S.舒尔特获国家专利权
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龙图腾网恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利用于干涉测量确定表面形状的测量设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114467005B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080068894.1，技术领域涉及：G01B9/02；该发明授权用于干涉测量确定表面形状的测量设备是由S.舒尔特;R.弗雷曼设计研发完成，并于2020-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于干涉测量确定表面形状的测量设备在说明书摘要公布了：一种用于干涉确定测试物14的表面12的形状的测量设备10包括：用于提供输入波42的辐射源；多重编码衍射光学元件60，其被配置为通过衍射从输入波生成测试波66和至少一个校准波70，该测试波指向测试物14且具有形式为自由形式表面的波前，其中，校准波的波前具有非旋转对称形状68f，其中，穿过校准波70的波前的横截面沿着相互横向对准的横截面区域在各个情况下具有弯曲形状，并且其中，各种横截面区域中的弯曲形状在开口参数方面不同。此外，测量设备包括检测装置46，用于检测通过将参考波40和在与校准物74相互作用后的校准波叠加而形成的校准干涉图。
本发明授权用于干涉测量确定表面形状的测量设备在权利要求书中公布了：1.一种用于干涉测量确定测试物14的表面12的形状的测量设备10，包括：-用于提供输入波42的辐射源，-多重编码衍射光学元件60，其被配置为通过衍射从所述输入波产生测试波66和至少一个校准波70，所述测试波66指向所述测试物14且具有自由形式表面的形式的波前，其中，所述校准波的波前具有非旋转对称形状68f，其中，沿着相互横向对准的横截面表面穿过所述校准波70的波前的横截面在各个情况下具有弯曲形状，并且其中，不同横截面表面中的弯曲形状在开口参数方面不同，以及捕获装置46，用于捕获通过将参考波40和在与校准物74相互作用后的所述校准波叠加而形成的校准干涉图。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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