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恭喜艾科系统公司肖恩·约瑟夫·彭利获国家专利权

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龙图腾网恭喜艾科系统公司申请的专利层流限制器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114586477B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080057722.4,技术领域涉及:H05K7/20;该发明授权层流限制器是由肖恩·约瑟夫·彭利;扎卡赖亚·伊齐基尔·麦金太尔;泰勒·詹姆斯·赖特设计研发完成,并于2020-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

层流限制器在说明书摘要公布了:用于控制气流的设备是输送用于半导体制造的工艺气体的重要部件。这些用于控制气流的设备经常依赖于流量限制器,该流量限制器可以提供工艺气体的已知流动阻抗。在一个实施例中,公开了一种流量限制器,该流量限制器由多个层构成,其中一个或多个层具有从该流量限制器的第一端处的第一孔延伸到位于该流量限制器的第二端处的第二孔的流动通道。

本发明授权层流限制器在权利要求书中公布了:1.一种用于限制气体流动的流量限制器,该流量限制器包括:第一端;第二端,从所述第一端延伸到所述第二端的纵向轴线;多个第一层,其沿所述纵向轴线从所述第一端延伸至所述第二端;多个第二层,其沿所述纵向轴线从所述第一端延伸至所述第二端;第一孔,其在由所述多个第一层和所述多个第二层限定的所述第一端处;第二孔,其在由所述多个第一层和所述多个第二层限定的所述第二端处;其中,流动通道由所述多个第一层和所述多个第二层限定,所述流动通道从所述第一孔延伸到所述第二孔;以及其中,所述多个第一层中的每一层包括第一侧、与所述第一侧相对的第二侧、第三侧、与所述第三侧相对的第四侧、正面和相对的背面,所述流动通道包括形成在每个所述第一层的正面中的纵向通道;每个所述第一层的纵向通道从所述正面延伸穿过所述第一层并到其相对的背面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人艾科系统公司,其通讯地址为:美国得克萨斯州78728奥斯汀市帕克路200C号600室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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