恭喜日本株式会社日立高新技术科学杉山安彦获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本株式会社日立高新技术科学申请的专利会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112687507B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010696775.2,技术领域涉及:H01J37/08;该发明授权会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法是由杉山安彦;广濑菜绪子设计研发完成,并于2020-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法在说明书摘要公布了:本发明提供会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法,能够将射束控制到所希望的轨道。会聚离子束装置具备:离子源,其产生离子;第一静电透镜,其使离子加速并将其会聚,形成离子束;射束增强器电极,其使离子束进一步加速;一个或多个电极,它们设置在射束增强器电极内,使离子束静电偏转;第二静电透镜,其配置在一个或多个电极与试样台之间,将被施加了电压的离子束会聚;以及处理部,其取得测定条件,基于取得的测定条件,设定向一个或多个电极施加的各个电压及向静电透镜施加的电压中的至少一个电压。
本发明授权会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法在权利要求书中公布了:1.一种会聚离子束装置,其中,所述会聚离子束装置具备:离子源,其产生离子;第一静电透镜,其使所述离子加速并将其会聚,形成离子束;射束增强器电极,其使所述离子束进一步加速;一个或多个电极,它们设置在所述射束增强器电极内,使所述离子束静电偏转;第二静电透镜,其配置在一个或多个所述电极与试样台之间,将被施加了电压的所述离子束会聚;以及处理部,其取得测定条件,基于取得的测定条件,设定向一个或多个所述电极施加的各个电压及向所述静电透镜施加的电压中的至少一个电压,所述测定条件包括确定使所述离子加速的加速电压的信息、和确定向由所述第一静电透镜会聚的所述离子束施加的射束增强器电压的信息。
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