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恭喜安徽万瑞冷电科技有限公司尹国庆获国家专利权

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龙图腾网恭喜安徽万瑞冷电科技有限公司申请的专利一种半导体用宽温区变温循环温控系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120008256B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510495033.6,技术领域涉及:F25B49/00;该发明授权一种半导体用宽温区变温循环温控系统是由尹国庆;王沛;滕健;郭继晨;周家屹;任琪琛;胡居利;丁怀况;章学华;卢毛磊;李阳设计研发完成,并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体用宽温区变温循环温控系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体用宽温区变温循环温控系统,采用回热闭式循环结构设计,将冷源单元和分配单元的主要管路分别放置在阀箱内,并对阀箱内部进行抽空使其形成真空环境,降低管路内部残余气体分子的对流换热,减少低温工质的漏热,保证氮气的回气低温温度,从而最大限度实现冷量回收和节能利用;在分配阀箱内设置节流阀,通过减压的方式有效将分配阀箱内的温度进一步降低,有效扩大了系统应用温区;同时,在冷源阀箱和分配阀箱内设置了三级预冷管路,在系统运行初期对冷源阀箱、分配阀箱和节流阀进行分级预冷,保证半导体生产过程中低温注入效率。

本发明授权一种半导体用宽温区变温循环温控系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体用宽温区变温循环温控系统,包括:低温冷源单元和低温分配单元,其特征在于, 低温分配单元包括分配阀箱(5)和第二真空泵(6),第二真空泵(6)用于对分配阀箱(5)抽真空,分配阀箱(5)上设有与靶盘连接的冷量出口和回热进口以及与低温冷源单元连接的第二冷量进口和第二回热出口,分配阀箱(5)内设有低温节流阀(7)、二级预冷管路(12)和三级预冷管路(13),低温节流阀(7)位于所述冷量出口与第二冷量进口之间的管路上,二级预冷管路(12)两端分别连接低温节流阀(7)上游管路和所述回热进口和第二回热出口之间的管路,三级预冷管路(13)两端分别连接低温节流阀(7)下游管路和所述回热进口和第二回热出口之间的管路。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽万瑞冷电科技有限公司,其通讯地址为:230088 安徽省合肥市高新区海棠路189号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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