恭喜西北工业大学马志波获国家专利权
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龙图腾网恭喜西北工业大学申请的专利微流道式压振复合光纤F-P传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119984358B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510461512.6,技术领域涉及:G01D5/353;该发明授权微流道式压振复合光纤F-P传感器及其制备方法是由马志波;耿浩宇;郭效丁;喜奇;田智勇设计研发完成,并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本微流道式压振复合光纤F-P传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种微流道式压振复合光纤F‑P传感器及其制备方法,传感器包括第一结构层、第二结构层和第三结构层,第三结构层包括硅片,硅片上设置有微流道组、进水孔和光纤通道孔,进水孔贯通硅片且与微流道组连通,第二结构层包括玻璃片,玻璃片的外周边缘设置有若干腔孔和光纤通道槽,光纤通道槽与一部分腔孔贯通,玻璃片的一侧贴合硅片的一侧使腔孔的一端与微流道组的外周连通,第一结构层包括硅层膜片,硅层膜片一侧贴合玻璃片另一侧将腔孔另一端封闭使腔孔形成F‑P腔体,一部分F‑P腔体内贴合有质量块,本发明通过微流道组与腔体相连通,当水通过进水孔进入微流道组内,微流道组一端的腔体内空气被压缩,压强增大,降低了腔体内外压差。
本发明授权微流道式压振复合光纤F-P传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种微流道式压振复合光纤F-P传感器,其特征在于,包括层叠贴合的第一结构层、第二结构层和第三结构层,所述第三结构层包括硅片,所述硅片上设置有微流道组(1)、进水孔(2)和光纤通道孔,所述微流道组(1)位于所述硅片的一侧,所述微流道组(1)从所述硅片的中部向外周延伸,所述进水孔(2)贯通所述硅片且与所述微流道组(1)连通;所述第二结构层包括玻璃片,所述玻璃片的外周边缘部设置有若干腔孔,所述玻璃片的外周还设置有光纤通道槽与一部分相应的所述腔孔贯通,所述玻璃片的一侧贴合所述硅片的一侧使所述腔孔的一端与所述微流道组(1)的外周连通,所述光纤通道孔的一端与另一部分相应的所述腔孔贯通;所述第一结构层包括硅层膜片,所述硅层膜片的一侧贴合所述玻璃片的另一侧将每个所述腔孔的另一端封闭使所述腔孔形成F-P腔体。
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