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龙图腾网恭喜华海清科(北京)科技有限公司申请的专利边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119927758B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510428498.X，技术领域涉及：B24B21/00；该发明授权边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法是由赵德文;陈铁;刘远航;鲍伟成设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法。边缘打磨装置包括安装座、承载台和一个或多个打磨机构，承载台配置成以环形台阶朝上的方式承载切边晶圆，一个或多个打磨机构固定在安装座上并距承载台的圆心距离相同；打磨机构包括：固定到安装座的安装柱；自安装柱的顶端朝向承载台的圆心延伸的打磨器，打磨器包括分别设置在其两端的主动轮和从动轮以及套装至主动轮和从动轮并由主动轮驱动的打磨带，打磨器能够在竖直平面内绕安装柱的顶端朝向承载台摆动以使打磨带抵靠环形台阶的棱边进行打磨，以及背离承载台摆动以避免干涉切边晶圆的取放。本申请的技术方案能够有效平滑化切边晶圆的边缘，显著降低应力集中。

本发明授权边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法在权利要求书中公布了：1.一种边缘打磨装置，其特征在于，晶圆的外周缘被切削后形成具有环形台阶的切边晶圆，所述边缘打磨装置配置成打磨所述环形台阶的棱边，并包括安装座、固定在所述安装座上的承载台和固定在所述安装座上并距所述承载台的圆心距离相同的一个或多个打磨机构，所述承载台配置成以所述环形台阶朝上的方式承载所述切边晶圆； 所述打磨机构包括： 固定到所述安装座的安装柱； 自所述安装柱的顶端朝向所述承载台的圆心延伸的打磨器，所述打磨器包括分别设置在其两端的主动轮和从动轮以及套装至所述主动轮和所述从动轮并由所述主动轮驱动的打磨带，所述打磨器能够在竖直平面内绕所述安装柱的顶端朝向所述承载台摆动以使所述打磨带抵靠所述环形台阶的棱边进行打磨，以及背离所述承载台摆动以避免干涉所述切边晶圆的取放； 使所述打磨器摆动的摆动组件，其包括：滑杆，其设置在所述安装柱的背对所述承载台的一侧并且一端可滑动地连接到所述安装柱；支撑件，其分别与所述主动轮、所述从动轮以及所述滑杆的另一端可转动地连接，并且所述支撑件与所述主动轮的连接点、与所述从动轮的连接点、与所述滑杆的连接点三者形成三角形的三个顶点；所述支撑件包括第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆的两端分别可转动地连接到所述主动轮和所述滑杆，所述第二支撑杆的两端分别可转动地连接到所述从动轮和所述滑杆；所述第二支撑杆长于所述第一支撑杆，并且所述主动轮和所述从动轮的连线与所述第一支撑杆之间的夹角大于在所述打磨带抵靠所述环形台阶的棱边时所述主动轮和所述从动轮的连线与竖直向上方向的夹角，以使所述第一支撑杆、第二支撑杆和滑杆的连接点在所述打磨器摆动过程中始终位于所述安装柱外侧； 罩设在所述打磨带之外的防护壳以及安装到防护壳的顶壁的预压微调装置，所述预压微调装置包括柔性的接触块，所述接触块设置在所述打磨带与所述环形台阶的接触部分的背面，并配置成将所述打磨带抵压到所述环形台阶，所述预压微调装置配置成调节所述接触块与所述顶壁之间的间距以调节所述接触块对所述打磨带的压力。

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