恭喜北京量子信息科学研究院冀伟杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜北京量子信息科学研究院申请的专利一种InAs/InP量子点单光子源器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119965672B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510423210.X,技术领域涉及:H01S5/10;该发明授权一种InAs/InP量子点单光子源器件及其制备方法是由冀伟杰;袁之良设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种InAs/InP量子点单光子源器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开一种InAsInP量子点单光子源器件及制备方法,包括:制备InP基片,自上而下依次包括InAsInP量子点层、InGaAs牺牲层、InP衬底层;InP基片InAsInP量子点层表面沉积SiO2间隔层;SiO2间隔层表面蒸镀Au镜层;GaAs衬底表面蒸镀Au镜层;用倒装焊技术使InP基片Au镜层与GaAs衬底Au镜层结合;湿法腐蚀去除InP衬底层和InGaAs牺牲层;在InAsInP量子点层表面沉积第一掩膜层;在第一掩膜层表面制备第二掩膜层,曝光显影;对第一掩膜层干法刻蚀;对InAsInP量子点层干法刻蚀,得InAsInP量子点单光子源器件。可增强光场限制和反射效率,实现高Q值谐振腔,提升单光子源亮度和纯度。
本发明授权一种InAs/InP量子点单光子源器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种InAsInP量子点单光子源器件的制备方法,其特征在于,包括: 制备InP基片,所述InP基片自上而下依次包括InAsInP量子点层、InGaAs牺牲层、InP衬底层; 在所述InP基片的所述InAsInP量子点层表面沉积SiO2间隔层; 在所述SiO2间隔层的表面蒸镀Au镜层; 在GaAs衬底表面蒸镀Au镜层; 采用倒装焊技术使所述InP基片的所述Au镜层与所述GaAs衬底的Au镜层相结合; 采用湿法腐蚀去除所述InP衬底层和所述InGaAs牺牲层; 在所述InAsInP量子点层的表面沉积环形布拉格光栅的第一掩膜层; 在所述第一掩膜层表面制备第二掩膜层,并进行曝光、显影; 对所述第一掩膜层进行干法刻蚀; 对所述InAsInP量子点层进行干法刻蚀,获得所述InAsInP量子点单光子源器件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京量子信息科学研究院,其通讯地址为:100193 北京市海淀区中关村软件园二期国际与区域协同创新中心A座;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。