恭喜基合半导体(宁波)有限公司朱雁青获国家专利权
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龙图腾网恭喜基合半导体(宁波)有限公司申请的专利超声传感器及其制备方法、超声波指纹模组以及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119768024B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510255975.7,技术领域涉及:H10N30/01;该发明授权超声传感器及其制备方法、超声波指纹模组以及电子设备是由朱雁青;张耀国;聂波设计研发完成,并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本超声传感器及其制备方法、超声波指纹模组以及电子设备在说明书摘要公布了:本申请涉及超声传感器领域,提供一种超声传感器及其制备方法、超声波指纹模组以及电子设备,至少有利于提高超声传感器的性能。制备方法包括:在衬底上形成底电极层;在底电极层上形成压电层;在压电层上形成顶电极,顶电极层的制备步骤包括:对压电层表面处理,以使压电层的表面具有亲水性;对压电层进行硅烷化处理,以形成自组装分子层;将进行硅烷化处理后的衬底浸泡在预聚溶液中,以使自组装分子层与预聚溶液中的单体聚合后形成粘附层;在粘附层上形成催化剂层;将具有催化剂层的衬底放入化学镀槽中,以使催化剂层中的催化剂催化化学镀槽中的金属离子形成金属层,粘附层与金属层构成顶电极层;在顶电极层上形成保护层。
本发明授权超声传感器及其制备方法、超声波指纹模组以及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种超声传感器的制备方法,其特征在于,包括: 提供衬底; 形成底电极层,所述底电极层位于所述衬底表面; 形成压电层,所述压电层至少覆盖所述底电极层的表面以及部分所述衬底表面; 形成顶电极层,所述顶电极层至少覆盖所述压电层表面,所述顶电极层的制备步骤包括: 对所述压电层远离所述衬底的表面进行表面处理,以使所述压电层的表面具有亲水性; 对所述压电层远离所述衬底的表面进行硅烷化处理,以在所述压电层的表面形成自组装分子层; 将进行所述硅烷化处理后的所述衬底浸泡在预聚溶液中,以使所述自组装分子层与所述预聚溶液中的单体聚合后形成粘附层; 在所述粘附层上形成催化剂层; 将具有所述催化剂层的所述衬底放入化学镀槽中,以使所述催化剂层中的催化剂催化所述化学镀槽中的金属离子形成金属层,所述粘附层与所述金属层共同构成所述顶电极层; 形成保护层,所述保护层覆盖所述金属层的表面。
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