深圳中科飞测科技股份有限公司黄有为获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种光学检测设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119715565B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510145886.7，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种光学检测设备及其控制方法是由黄有为;陈鲁设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学检测设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种光学检测设备及其控制方法，光学检测设备包括：缺陷检测装置，缺陷检测装置包括大缺陷回避系统和照明系统，照明系统用于发出高功率照明光扫描样品，照明系统扫描至样品上的大缺陷时，大缺陷回避系统用于向照明系统发送关闭快门信号以关闭高功率照明光，以使样品上的大缺陷避开高功率照明光的扫描；空气净化装置，空气净化装置包括光机仓风场系统，光机仓风场系统包括向照明系统吹送第一吹扫气流的第一吹扫组件；其中，大缺陷回避系统发送关闭快门信号的同时还向第一吹扫组件发送第一吹扫信号，接收第一吹扫信号的第一吹扫组件增大第一吹扫气流的气压。本发明至少有利于提升光学检测设备的性能。
本发明授权一种光学检测设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种光学检测设备，其特征在于，包括： 缺陷检测装置，所述缺陷检测装置包括大缺陷回避系统和照明系统，所述照明系统用于发出高功率照明光扫描样品，所述照明系统扫描至样品上的大缺陷时，所述大缺陷回避系统用于向所述照明系统发送关闭快门信号以关闭所述高功率照明光，以使所述样品上的大缺陷避开所述高功率照明光的扫描； 空气净化装置，所述空气净化装置包括光机仓风场系统，所述光机仓风场系统包括向所述照明系统吹送第一吹扫气流的第一吹扫组件； 其中，所述大缺陷回避系统发送所述关闭快门信号的同时还向所述第一吹扫组件发送第一吹扫信号，接收所述第一吹扫信号的所述第一吹扫组件增大所述第一吹扫气流的气压。
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