买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119555605B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510124380.8，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法是由陈鲁;黄有为;张龙;马凯设计研发完成，并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法，用于提升获取待检测对象中缺陷信号的准确性。本发明实施例中的滤波结构，包括：第一滤波结构，用于对待检测对象中周期排布的结构单元的主衍射信号进行滤波；和第二滤波结构，用于对待检测对象中周期排布的结构单元的次级衍射光斑进行滤波；第一滤波结构包括至少一个外周为封闭状的滤波结构，当待检测对象中设置有结构单元时，所述封闭状的滤波结构内还设置有连接所述滤波结构任意两端的挡光结构；所述第二滤波结构包括平行设置的多个挡光件，其中，所述挡光件在所述次级衍射光斑所在平面的投影不小于所述次级衍射光斑的直径。

本发明授权一种滤波结构、光学检测系统及光学检测方法在权利要求书中公布了：1.一种滤波结构，其特征在于，包括： 第一滤波结构，用于对待检测对象中周期排布的结构单元的主衍射信号进行滤波； 和第二滤波结构，用于对所述待检测对象中周期排布的结构单元的次级衍射光斑进行滤波；其中： 所述第一滤波结构包括至少一个外周为封闭状的滤波结构，当所述待检测对象中设置有结构单元时，所述封闭状的滤波结构内还设置有连接所述封闭状的滤波结构任意两端的挡光结构；连接所述封闭状的滤波结构任意两端的挡光结构的空间方位适应于所述待检测对象粗糙表面散射光斑的位置及形状； 所述第二滤波结构包括平行设置的多个挡光件，其中，所述挡光件在所述次级衍射光斑所在平面的投影不小于所述次级衍射光斑的直径； 若所述第二滤波结构中的多个挡光件设置于同一平面时，则将所述第二滤波结构设置于光瞳面处，而沿散射光束的传播方向，将所述第一滤波结构设置于所述光曈面前方0.1mm至2mm处，或者将所述第一滤波结构设置于光瞳面后方0.1mm至2mm处； 若所述第二滤波结构包括设置于多个平面的多个挡光件，所述多个平面中的一个平面与所述光瞳面重叠设置，所述多个平面中的其他平面沿散射光束的传播方向，设置于所述光曈面的前方0.1mm至2mm处，所述第一滤波结构沿散射光束的传播方向，设置于所述光曈面的后方0.1mm至2mm处； 或，所述多个平面中的其他平面沿散射光束的传播方向，设置于所述光曈面的后方0.1mm至2mm处，所述第一滤波结构沿散射光束的传播方向，设置于所述光曈面的前方0.1mm至2mm处； 所述滤波结构设置于光学检测系统中，每个所述挡光件由独立的驱动机构进行驱动，以使得通过多个独立的驱动机构分别驱动对应的挡光件与所述光学检测系统中的光曈面重叠设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司，其通讯地址为：518109 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。