华海清科股份有限公司刘学志获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利供液臂、化学机械抛光装置和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119319533B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411873994.8，技术领域涉及：B24B57/02；该发明授权供液臂、化学机械抛光装置和设备是由刘学志;徐海洋;齐心;王科设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本供液臂、化学机械抛光装置和设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种供液臂、化学机械抛光装置和设备。供液臂包括摆臂，用于向抛光垫输送抛光液；转轴，摆臂与转轴接触连接且可相对转轴转动；定位机构，设置于摆臂和转轴，用于在摆臂偏离工作位时控制摆臂重新定位至工作位；工作位为摆臂向抛光垫输送抛光液时摆臂相对于转轴的位置；复位组件，连接于摆臂，复位组件形成有接触端；定位件，设置于转轴和摆臂之间且连接于转轴，复位组件的接触端可相对定位件滑动，定位件设置有定位槽，接触端置于定位槽内时摆臂置于工作位，复位组件用于在接触端脱离定位槽时控制接触端重新滑入定位槽。本申请保证了抛光液供给臂的位置能够维持一致性和准确性，确保了抛光液的精确投放，准确地滴落在目标位置。
本发明授权供液臂、化学机械抛光装置和设备在权利要求书中公布了：1.一种供液臂，其特征在于，包括： 摆臂，用于向抛光垫输送抛光液； 转轴，所述摆臂与所述转轴接触连接且可相对所述转轴转动； 定位机构，设置于所述摆臂和所述转轴，用于在所述摆臂向所述抛光垫输送抛光液的过程中在所述摆臂偏离工作位时控制所述摆臂重新定位至所述工作位以使所述抛光液在所述抛光垫上的落点集中；所述工作位为所述摆臂向所述抛光垫输送抛光液时所述摆臂相对于所述转轴的位置；所述定位机构包括： 复位组件，连接于所述摆臂并部分地嵌设在所述摆臂中，所述复位组件形成有自所述摆臂露出的接触端； 定位件，其构造成环形板件，设置于所述转轴和所述摆臂之间且连接于所述转轴，所述复位组件的接触端可相对所述定位件滑动，所述定位件设置有定位槽，所述接触端置于所述定位槽内时所述摆臂置于所述工作位，所述复位组件用于在所述接触端脱离所述定位槽时控制所述接触端重新滑入所述定位槽。
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