芯恩(青岛)集成电路有限公司王宇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利光路偏移检测装置及光刻系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979915U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421376809.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光路偏移检测装置及光刻系统是由王宇;赵晟达设计研发完成，并于2024-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本光路偏移检测装置及光刻系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光路偏移检测装置及光刻系统，所述装置包括：光导向器、光放大器、图像转化器以及图像显示器，所述光导向器将光路中的光导向所述光放大器；所述光放大器放大所述光导向器传输的光并传输至所述图像转化器；所述图像转化器将光信号转化为图像信号；以及所述图像显示器接收所述图像信号并显示图像。本实用新型能够根据图像显示器显示的图像确定光路是否有偏移，对光路进行调整之后能够快速验证调整结果，能够随时进行光路的检测且不占用机台的运行时间，同时降低了光路偏移检测操作的复杂程度，优化了操作流程，减少了日常监控光路所需的时间。
本实用新型光路偏移检测装置及光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种光路偏移检测装置，其特征在于，包括：光导向器、光放大器、图像转化器以及图像显示器；其中， 所述光导向器将光路中的光导向所述光放大器； 所述光放大器放大所述光导向器传输的光并传输至所述图像转化器； 所述图像转化器将光信号转化为图像信号；以及 所述图像显示器接收所述图像信号并显示图像； 还包括孔径光阑，所述孔径光阑位于所述光放大器与所述图像转化器之间，所述孔径光阑用于限制入射至所述图像转化器的光的范围。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号