无锡荣能半导体材料有限公司朱仁德获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡荣能半导体材料有限公司申请的专利一种硅片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980455U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421343879.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种硅片清洗装置是由朱仁德;冯培良设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种硅片清洗装置，包括清洗槽、喷淋管、喷嘴和调节机构，所述喷淋管可旋转地设置在所述清洗槽上；所述喷嘴设置在所述清洗槽内的所述喷淋管上；所述调节机构包括伸缩组件、连接所述伸缩组件的一级连杆和连接所述一级连杆的二级连杆，所述二级连杆远离所述一级连杆的一端连接所述喷淋管，所述二级连杆垂直于所述喷淋管的轴线本实用新型通过调节机构可以灵活调整喷嘴的朝向。需要清洗的硅片的尺寸变化，导致适宜的冲洗角度改变时，通过调节机构，可以方便灵活地调整喷嘴的朝向，适应硅片尺寸的变化，保证清洗质量和清洗效率。
本实用新型一种硅片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片清洗装置，其特征在于：包括清洗槽、喷淋管、喷嘴和调节机构， 所述喷淋管可旋转地设置在所述清洗槽上； 所述喷嘴设置在所述清洗槽内的所述喷淋管上； 所述调节机构包括伸缩组件、连接所述伸缩组件的一级连杆和连接所述一级连杆的二级连杆，所述二级连杆远离所述一级连杆的一端连接所述喷淋管，所述二级连杆垂直于所述喷淋管的轴线。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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