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龙图腾网获悉上海澈芯科技有限公司申请的专利一种缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979414U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421324503.X，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种缺陷检测装置是由巫后祥;彭博方设计研发完成，并于2024-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种缺陷检测装置，包括密封箱和检测机构，所述密封箱的前端面安装有箱门，其后端面开设有若干个安装孔，且所述密封箱的顶部开设有若干个线孔，所述密封箱的顶部安装有显示器。本实用新型通过检测机构中的上激光源和下激光源可产生激光束，以便利用激光束同时对晶圆的正面和背面进行缺陷检测，而无需翻转，从而大大提高了缺陷检测的速度和效率，并且通过密封箱可对检测机构和晶圆进行密封，以避免在对晶圆进行缺陷检测时，外界光线对相关的光学检测元件造成干扰而影响检测结果的准确性。

本实用新型一种缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括密封箱和检测机构，所述密封箱的前端面安装有箱门，其后端面开设有若干个安装孔，且所述密封箱的顶部开设有若干个线孔，所述密封箱的顶部安装有显示器； 所述检测机构包括安装板，所述安装板位于密封箱内，其后端面固定连接有若干个安装杆，所述安装杆的杆身刻有外螺纹，且所述安装杆的杆身螺纹连接有与其外螺纹相配合的安装螺母，所述安装板的前侧设置有检测架，所述检测架的后端面与安装板的前端面之间固定连接有若干个固定块，所述检测架的顶部和底部分别安装有上激光源和下激光源，所述上激光源和下激光源的前端面分别安装有上探测器与下探测器，所述上激光源、下激光源、上探测器、下探测器与显示器之间均通过导线电性连接，所述导线穿过线孔，所述检测架的前侧设置有夹持组件； 所述夹持组件包括夹持架，所述夹持架固定连接在检测架的前端面，并位于上激光源与下激光源之间，且所述夹持架的两侧均开设有通孔，所述通孔中插入有拉杆，所述拉杆的一端固定连接有拉环，其另一端固定连接有夹持块，且所述拉杆的杆身缠绕有弹簧，所述弹簧的两端分别固定连接在夹持架和夹持块的侧壁。

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