德兴市意发功率半导体有限公司周炳获国家专利权
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龙图腾网获悉德兴市意发功率半导体有限公司申请的专利一种用于晶圆双面检测的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979477U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421142347.5，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种用于晶圆双面检测的装置是由周炳设计研发完成，并于2024-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆双面检测的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆双面检测的装置，其包括：转盘、第一视觉检测镜头、第二视觉检测镜头、第一升降机构和第二升降机构，所述转盘的顶部间隔设置有晶圆定位槽，所述第一升降机构上设置有延伸至转盘上方的第一支架，所述第一视觉检测镜头设置在第一支架上并向下指向晶圆定位槽随转盘旋转的路径，所述第二升降机构上设置有竖板，所述竖板上部设置有延伸至转盘上方的第一悬臂，所述第一悬臂上设置有位于晶圆定位槽随转盘旋转的路径上方的真空吸盘，所述竖板底部设置有延伸至转盘下方的第二悬臂，所述第二视觉检测镜头设置在第二悬臂上并位于真空吸盘的下方，实现了晶圆的双面自动检测，提升了工作效率。
本实用新型一种用于晶圆双面检测的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆双面检测的装置，其特征在于，包括：转盘、第一视觉检测镜头、第二视觉检测镜头、第一升降机构和第二升降机构，所述转盘的顶部间隔设置有晶圆定位槽，所述转盘的底部设置有与晶圆定位槽连通的通孔，所述第一升降机构和第二升降机构间隔设置在转盘的外侧，所述第一升降机构上设置有延伸至转盘上方的第一支架，所述第一视觉检测镜头设置在第一支架上并向下指向晶圆定位槽随转盘旋转的路径，所述第二升降机构上设置有竖板，所述竖板上部设置有延伸至转盘上方的第一悬臂，所述第一悬臂上设置有位于晶圆定位槽随转盘旋转的路径上方的真空吸盘，所述竖板底部设置有延伸至转盘下方的第二悬臂，所述第二视觉检测镜头设置在第二悬臂上并位于真空吸盘的下方。
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