芯恩(青岛)集成电路有限公司蔺伟伟获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利阀门及半导体制造机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222977564U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420698649.4，技术领域涉及：F16K49/00；该实用新型阀门及半导体制造机台是由蔺伟伟设计研发完成，并于2024-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本阀门及半导体制造机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种阀门及半导体制造机台。其中，所述半导体制造机台是在所述腔室和所述压力计之间设置一阀门，以利用所述阀门的开闭，实现所述腔室与所述压力计之间的连通和阻隔，进而在更换所述压力计的过程中，无需对所述腔室内气压进行处理，直接关闭所述阀门后进行更换维修，大幅度提高了更换的效率，且降低了对机台运行的影响和预防性维护成本。以及，所述阀门具有导热线圈，以能够迅速加热所述阀门本体的内外表面，避免腔室内的副产物因遇冷而聚集于所述阀门本体内，影响阀门的性能和使用寿命。
本实用新型阀门及半导体制造机台在权利要求书中公布了：1.一种阀门，其特征在于，包括：阀门本体和导热线圈；所述导热线圈缠绕并覆盖于所述阀门本体的外表面和所述阀门本体的内腔的腔壁上，以加热所述阀门本体；其中， 所述阀门本体包括橡胶塞；所述橡胶塞位于所述内腔中，以打开或关闭所述内腔；以及，对应于所述橡胶塞的所述阀门本体的腔壁具有一锥形槽；所述锥形槽的槽内壁上间隔设置有至少两个凸形环；当所述橡胶塞关闭所述阀门本体的内腔时，所述橡胶塞仅与部分所述凸形环相接，且靠近所述橡胶塞的所述凸形环的环壁宽度大于远离所述橡胶塞的所述凸形环的环壁宽度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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