合肥芯碁微电子装备股份有限公司叶飞获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利一种控温装置及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979914U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420483046.2，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种控温装置及曝光设备是由叶飞设计研发完成，并于2024-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种控温装置及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种控温装置及曝光设备，包括机体，该机体内形成有由空气气流组成的首尾相连的风道；设置在风道首端的控温组件，该控温组件能够改变自身的温度且与风道发生热量传递；以及设置在风道流动路径上的曝光组件，该曝光组件能够与风道发生热量交换。本实用新型设置控制系统检测腔体内的温度，进而反馈给控温组件用于调节自身温度，利用热传递将控温组件与散热组件的热量进行交换使得散热组件的温度趋于曝光组件需要的温度，曝光组件通过风道与散热组件进行热传递，实现控温组件间接控制曝光组件温度，使得安装有该控温装置的曝光设备内部温度始终在曝光组件需要的温度上下小范围波动，提高了该曝光设备定位精度以及曝光质量问题。
本实用新型一种控温装置及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种控温装置，其特征在于，包括： 机体1，该机体1内形成有由空气气流组成的首尾相连的风道14； 设置在所述风道14首端的控温组件2，该控温组件2能够改变自身的温度且与所述风道14发生热量传递； 设置在所述风道14流动路径上的散热组件3，散热组件3的热量能够被控温组件2内部的冷却液吸收；以及 设置在所述风道14流动路径上的曝光组件5，该曝光组件5能够通过所述风道14与所述散热组件3进行热传递。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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