合肥芯碁微电子装备股份有限公司叶飞获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利一种可垂直调节的双面曝光平台及激光直写曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979913U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420453547.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种可垂直调节的双面曝光平台及激光直写曝光设备是由叶飞设计研发完成，并于2024-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可垂直调节的双面曝光平台及激光直写曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可垂直调节的双面曝光平台及激光直写曝光设备，该双面曝光平台包括：支撑底座；设置在支撑底座上的垂直调节组件，该垂直调节组件包括移动件；曝光组件，该曝光组件包括设置在移动件上的曝光件安装板，该曝光件安装板能够跟随移动件做垂直方向的移动。本实用新型设置上曝光件和下曝光件实现对基板的双面曝光，通过上曝光件根据基板外层标记点对其进行定位，以及上、下曝光件水平方向的位置保持不变，使得基板的对准精度仅受限于曝光系统识别精度影响，其次本实用新型设置垂直调节机构来调节上曝光件与基板外层的距离，使得该曝光平台能够适应不同厚度的基板，扩大了安装有该曝光平台的激光直写曝光设备的适用范围。
本实用新型一种可垂直调节的双面曝光平台及激光直写曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种可垂直调节的双面曝光平台，其特征在于，包括： 支撑底座100； 设置在所述支撑底座100上的垂直调节组件200，该垂直调节组件200包括移动件210； 曝光组件300，该曝光组件300包括设置在所述移动件210上的曝光件安装板310，该曝光件安装板310能够跟随所述移动件210做垂直方向的移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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