株式会社荏原制作所安田慎吾获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119234058B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480002589.0，技术领域涉及：C25D21/12；该发明授权镀覆方法是由安田慎吾设计研发完成，并于2024-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够实现凸块高度均匀化的技术。镀覆方法是使用具备镀覆槽10、基板保持架30、电源80以及搅拌机构60的镀覆装置1000的镀覆方法，包括：在执行对基板Wf实施镀覆的镀覆处理时，以向基板及阳极11多次供给用于使金属从镀覆液向基板析出的正向电流、和向正向电流的相反方向脉冲状地流动的电流亦即反向电流脉冲的方式，控制电源；和在执行镀覆处理时，取得供给反向电流脉冲后的基板的电压的变动幅度，并且根据该取得的变动幅度执行使搅拌机构的搅拌强度变化的控制。
本发明授权镀覆方法在权利要求书中公布了：1.一种镀覆方法，是使用镀覆装置的镀覆方法，该镀覆装置具备：镀覆槽，对包含促进镀覆的促进剂在内的镀覆液进行贮存，并且配置有阳极；基板保持架，构成为将作为阴极的基板保持为与所述阳极对置；电源，构成为向所述基板及所述阳极供给电流；以及搅拌机构，构成为搅拌所述镀覆液， 所述镀覆方法的特征在于，包括： 在执行对所述基板实施镀覆的镀覆处理时，以向所述基板及所述阳极多次供给用于使金属从所述镀覆液向所述基板析出的正向电流、和向所述正向电流的相反方向脉冲状地流动的电流亦即反向电流脉冲的方式，控制所述电源；和 在执行所述镀覆处理时，取得供给所述反向电流脉冲后的所述基板的电压的变动幅度，并且根据该取得的所述变动幅度执行使所述搅拌机构的搅拌强度变化的控制， 所述变动幅度是供给所述反向电流脉冲紧前的所述电压与供给所述反向电流脉冲后产生的所述电压的极小值的差、或者所述极小值与在产生所述极小值后产生的所述电压的极大值的差。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所，其通讯地址为：日本；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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