华海清科股份有限公司陈贺获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116798914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310787611.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆清洗装置是由陈贺;李长坤;赵德文设计研发完成，并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括箱体，其内部设置有溢流槽；支撑组件，其设置于所述溢流槽中，以支撑并带动晶圆旋转；喷液组件，其设置于所述溢流槽中，以朝向溢流槽底部喷射液体；所述溢流槽包括槽主体、整流部和收缩部，所述槽主体为矩形槽体，所述整流部和收缩部依次设置于所述槽主体的上方；所述整流部与收缩部之间设置有振板，其倾斜设置并朝向晶圆发出高频声波；所述整流部为矩形槽体，其内部宽度小于槽主体的内部宽度；经由整流部上移的流体，能够将高频声波剥离的污染物从溢流槽的顶部排出。
本发明授权一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 箱体，其内部设置有溢流槽； 支撑组件，其设置于所述溢流槽中，以支撑并带动晶圆旋转； 喷液组件，其设置于所述溢流槽中，以朝向溢流槽底部喷射液体； 所述溢流槽包括槽主体、整流部和收缩部，所述槽主体为矩形槽体，所述整流部和收缩部依次设置于所述槽主体的上方； 所述整流部与收缩部之间设置有振板，其倾斜设置并朝向晶圆发出高频声波； 所述整流部为矩形槽体，其内部宽度小于槽主体的内部宽度；经由整流部上移的流体，能够将高频声波剥离的污染物从溢流槽的顶部排出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号