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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利金属氧化膜形成用组成物、图案形成方法、及金属氧化膜形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117024997B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310508624.3，技术领域涉及：C09D1/00；该发明授权金属氧化膜形成用组成物、图案形成方法、及金属氧化膜形成方法是由小林直贵;郡大佑;佐藤裕典;矢野俊治设计研发完成，并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属氧化膜形成用组成物、图案形成方法、及金属氧化膜形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及金属氧化膜形成用组成物、图案形成方法、及金属氧化膜形成方法。本发明提供一种金属氧化膜形成用组成物，其对于已知的有机下层膜材料具有优良的干蚀刻耐性、对于已知的金属硬掩膜具有优良的填埋特性，能减小伴随厚膜化的裂纹且保存稳定性优异。一种金属氧化膜形成用组成物，包含：金属氧化物纳米粒子，含有具有下列通式1表示的结构单元的树脂的流动性促进剂，由含有2个以上的苯环、或1个苯环及下列通式C‑1表示的结构且分子量为500以下的含芳香族的化合物构成的分散稳定化剂，有机溶剂，流动性促进剂相对于组成物全体的含量为9质量％以上，MwMn为2.50≤MwMn≤9.00，不含卡多cardo结构。

本发明授权金属氧化膜形成用组成物、图案形成方法、及金属氧化膜形成方法在权利要求书中公布了：1.一种金属氧化膜形成用组成物，其特征为包含： A金属氧化物纳米粒子； B含有具有下列通式1表示的结构单元的树脂的流动性促进剂， C由含有2个以上的苯环、或1个苯环及下列通式C-1表示的结构且以分子式表示的分子量为500以下的含芳香族的化合物构成的分散稳定化剂，及 D有机溶剂， 该B流动性促进剂相对于组成物全体的含量为9质量％以上，利用凝胶渗透层析法测得的聚苯乙烯换算的重均分子量Mw与数均分子量Mn的比率MwMn为2.50≤MwMn≤9.00，且不含带有卡多cardo结构的化合物及聚合物， 该通式1中，Ra为碳数1～30的饱和的1价有机基团或碳数2～30的不饱和的1价有机基团，X为碳数1～30的2价有机基团，p为0～5的整数，q1为1～6的整数，p+q1为1以上6以下的整数，q2为0或1， 式中，＊表示键结位置，W为碳数1～4的有机基团； 该C分散稳定化剂的30℃至190℃的重量减少率未达30％，且30℃至350℃间的重量减少率为98％以上。

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