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龙图腾网获悉陕西斯瑞扶风先进铜合金有限公司申请的专利一种真空溅射靶材用高强度高导电铜合金背板的生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116555602B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310379307.6，技术领域涉及：C22C1/02；该发明授权一种真空溅射靶材用高强度高导电铜合金背板的生产工艺是由黄尚成;田东松;史建斌设计研发完成，并于2023-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空溅射靶材用高强度高导电铜合金背板的生产工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空溅射靶材用高强度高导电铜合金背板的生产工艺，属于铜合金制备技术领域，包括S1、原料选配：采用铜合金作为原料；S2、真空熔铸：进行真空熔炼；S3、锻造：对正方体铸锭的长宽高三面揉打最终揉打成圆形板料；S4、固溶：通过水冷进行固溶；S5、冷轧：将固溶后的板料放入辊轮式冷轧机中进行全方向的冷轧处理；S6、时效：将步骤S6得到的冷轧后圆形板料室温入炉进行时效处理；S7、车削：将步骤S6得到的时效处理后板料进行车削处理，本发明所制备的铜背板工艺简单、生产成本低、合格率高，背板晶粒度小且分布均匀，硬度高且硬度分布均匀，内部无夹层，板料边缘位置无夹渣等缺陷。

本发明授权一种真空溅射靶材用高强度高导电铜合金背板的生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种真空溅射靶材用高强度高导电铜合金背板的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤： S1、原料选配： 选择铜合金，并将所选铜合金进行低温破碎，低温破碎的温度为-30～-40℃，破碎完成后得到铜合金块，破碎后铜合金块的粒径为2-3cm； S2、真空熔铸： 将步骤S1中得到的铜合金块放入坩埚中，并将坩埚置于真空熔炉中，将真空熔炉的真空度抽至р≤10Pa时，对真空熔炉进行升温，待坩埚内原料熔化完全后将真空熔炉功率调至100±5KW，打开充氩气阀向真空熔炉中充入高纯氩气，待真空熔炉内压力升至-0.08Mpa时，关闭充氩阀，将真空熔炉功率升至750±5KW，投入精炼剂，精炼60min，除气扒渣后将真空熔炉功率至300±5KW，并将熔体浇铸成正方体铸锭；所述精炼剂的由以下重量份的成分组成：氟化钙25-40份、氟钛酸钾15-30份、二氧化钛3-8份、稀土10-30份，精炼剂与熔体的质量比为1:138； S3、锻造： 将步骤S2中得到的正方体铸锭装炉，装炉温度750℃，保温温度900℃-960℃，保温2.0h-2.5h后取出，对正方体铸锭的长宽高三面揉打，最终揉打成圆形板料； S4、固溶： 将步骤S3得到的板料室温装炉，入炉后30min-50min内从室温升温至850℃-900℃并保温60min-90min，保温结束后在30s-50s内投入循环的冷水中进行冷却，冷却至85℃以下后取出； S5、冷轧： 将固溶后的板料放入辊轮式冷轧机中进行全方向的冷轧处理，得到冷轧后圆形板料； S6、时效： 将步骤S6得到的冷轧后圆形板料室温入炉后30min-40min内将炉内温度升至475℃-485℃并保温270min，保温结束后随炉冷却，得到时效处理后板料； S7、车削： 将步骤S6得到的时效处理后板料进行车削处理，得到真空溅射靶材用背板； 步骤S1中所选用的铜合金由以下质量百分比的成分组成：镍含量在1.5％-4.0％，铬含量在0.1％-0.8％，硅含量在0.1％-0.8％，铁元素在0.02％-0.10％，余量为铜； 步骤S2中所述氩气充入真空熔炉的速度为1-2m3min，所述氩气的纯度≥99％； 步骤S2中对真空熔炉进行升温的过程为：先将真空熔炉功率升至150±5KW，保温30min，功率升至300±5KW，保温30min，功率升至500±5KW保持30min，功率升至700±5KW，保温30min。

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