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龙图腾网获悉维达力实业(深圳)有限公司申请的专利双向笼式载具移载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116200717B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310335788.0，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权双向笼式载具移载装置是由虞文韬;谢振岗;晏海燕;王来泉设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本双向笼式载具移载装置在说明书摘要公布了：本发明的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。

本发明授权双向笼式载具移载装置在权利要求书中公布了：1.一种双向笼式载具移载装置，其特征在于，包括： 移载腔室（100）、移动架（200）、货笼（160）；所述移载腔室（100）的两端设置开口，所述开口用于与其他腔室密封插接；所述移动架（200）沿横向方向可移动地设置在所述移载腔室（100）两端的所述开口之间，所述货笼（160）沿横向方向可移动地设置在所述移动架（200）上，所述货笼（160）用于装载待镀膜件； 升降机构（300）、移动架横移机构（400）；所述升降机构（300）设置在所述移载腔室（100）上，且所述升降机构（300）与所述移动架（200）连接，所述升降机构（300）用于驱动所述移动架（200）升降；所述移动架横移机构（400）设置在所述移载腔室（100）上，且所述移动架横移机构（400）与所述移动架（200）连接，所述移动架横移机构（400）用于驱动所述移动架（200）横移； 以及货笼横移机构（510）；所述货笼横移机构（510）包括依次传动连接的第一电机（101）、第一磁流体密封轴（110）、软轴（180）以及货笼横移传动组件（520），所述第一电机（101）设置在所述移载腔室（100）的外部，所述第一磁流体密封轴（110）设置在所述移载腔室（100）上，所述货笼横移传动组件（520）设置在所述移动架（200）上，所述货笼横移传动组件（520）与所述货笼（160）连接，所述货笼横移传动组件（520）驱动所述货笼（160）横移； 所述第一电机（101）用于驱动所述第一磁流体密封轴（110）转动，所述第一磁流体密封轴（110）用于带动所述软轴（180）转动，所述软轴（180）用于带动所述货笼横移传动组件（520）运动，从而带动所述货笼（160）横移；所述移载腔室（100）在工作状态下为真空腔室，所述第一电机（101）通过所述第一磁流体密封轴（110）将动力传递到所述移载腔室（100）内。

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