扬州韩思半导体科技有限公司李宰卿获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州韩思半导体科技有限公司申请的专利一种槽阀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115523307B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211239888.5，技术领域涉及：F16K3/18；该发明授权一种槽阀装置是由李宰卿设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种槽阀装置在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片制造中使用的一种槽阀装置，包括由顶板、底板、两侧的侧板和两端的端板围合而成的腔体，腔体两侧设有贯穿腔体的通道一和通道二，腔体内设有可升降的支撑架，支撑架朝向通道二一侧设有阀板，阀板表面设有密封圈，阀板和支撑架之间设有驱动阀板密封通道二的密封气缸，腔体底部设有驱动支撑架升降的升降气缸，顶板安装在腔体顶部，阀板朝向密封气缸一侧设有槽口，密封气缸的活塞杆伸出端设有气缸接头，气缸接头插入槽口内，连接螺钉穿过阀板与气缸接头螺纹连接；支撑架远离阀板一侧的上角部设有斜切面，对应的侧板上设有与斜切面匹配的导向块。该装置应用于晶圆加工中，其密封圈更换方便，同时，其密封良好，使用可靠。
本发明授权一种槽阀装置在权利要求书中公布了：1.一种槽阀装置，包括一个断面呈矩形的腔体，所述腔体由顶板、底板、两侧的侧板和两端的端板围合而成，腔体两侧设有贯穿腔体的通道一和通道二，腔体内设有可升降的支撑架，支撑架朝向通道二一侧设有阀板，阀板表面设有密封圈，阀板和支撑架之间设有驱动阀板密封通道二的密封气缸，腔体底部设有驱动支撑架升降的升降气缸，其特征在于：所述密封气缸的轴线与升降气缸轴线相互垂直设置，顶板可拆卸地安装在腔体顶部，阀板朝向密封气缸一侧设有槽口，密封气缸的活塞杆伸出端设有气缸接头，所述气缸接头插入所述槽口内，连接螺钉从上部穿过阀板与气缸接头螺纹连接；所述支撑架远离阀板一侧的上角部设有斜切面，对应的侧板上设有楔形的导向块，升降油缸举升支撑架上行到密封位置时，斜切面恰好与导向块相接触；所述槽口呈下大上小的八字形，气缸接头呈T形，槽口上部与T形的槽口相匹配；所述阀板上侧设有提手螺钉；支撑架上与密封气缸对应设有缺口，所述密封气缸嵌入安装在所述缺口内。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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