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龙图腾网恭喜华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利OPC方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115327862B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211037025.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权OPC方法是由夏文彬;肖燏萍;江志兴设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本OPC方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种OPC方法，包括：定义所述凸类图形的目标图形的特征变量：凸高、凸宽和临边；设置所述凸类图形的特征条件和修正评价规则；获取凸高的影响因子；对凸高应用所述凸高的影响因子，进行OPC修正；获取凸类图形的模拟图形与凸类图形的目标图形在所述凸高上的交点；判断所述交点是否符合所述修正评价规则，若符合，则完成OPC修正。本申请通过获取所述凸高的影响因子，并利用所述凸高的影响因子对凸类图形进行OPC处理，再评价交点是否符合所述修正评价规则，这样可以在减少OPC修正次数的同时，避免OPC修正过程中报错的情况，提高了凸类图形对内部的通孔层的覆盖率，节省了OPC修正时间，提高了OPC修正效率。

本发明授权OPC方法在权利要求书中公布了：1.一种OPC方法，其特征在于，参与OPC修正的图形包括：凸类图形，其中，所述凸类图形的凸起区域内设置一通孔图形；所述OPC方法包括： 第一步骤：定义所述凸类图形的目标图形的特征变量；其中，所述凸类图形的目标图形的特征变量包括：凸高、凸宽和临边； 第二步骤：根据所述凸类图形的目标图形的特征变量，设置所述凸类图形的特征条件，以及设置修正评价规则； 第三步骤：以一定的步长移动所述凸高，获取所述凸高的影响因子；其中，所述第三步骤还包括： 根据前一次移动中所述凸宽的边缘放置误差和当前次移动中所述凸宽的边缘放置误差，获取所述凸宽的边缘放置误差的差值； 根据所述凸宽的边缘放置误差的差值，获取当前移动中所述凸类图形的修正情况； 第四步骤：对所述凸高应用所述凸高的影响因子，进行OPC处理；其中，所述第四步骤包括： 每次迭代中，根据所述凸宽的边缘放置误差，获取所述凸宽的移动量； 根据所述凸宽的移动量，对所述凸宽进行OPC修正； 每次迭代中，根据所述凸高的影响因子、所述凸宽的边缘放置误差和所述凸高的边缘放置误差，获取所述凸高的移动量； 根据所述凸高的移动量，对所述凸高进行OPC修正； 第五步骤：获取所述凸类图形的模拟图形，并获取所述凸类图形的模拟图形与所述凸类图形的目标图形在所述凸高上的交点； 第六步骤：判断所述交点是否符合所述修正评价规则，若所述交点符合所述修正评价规则，则完成OPC修正；若所述交点不符合所述修正评价规则，则返回执行所述第三步骤。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华虹半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。