恭喜华海清科股份有限公司孙传恽获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115241098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210971268.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆清洗装置是由孙传恽;宁昭旭;李长坤;赵德文设计研发完成，并于2022-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：槽体；支撑组件，位于所述槽体中，其为转动件，用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转；清洗刷，水平设置并绕其轴线滚动；清洁件，位于所述槽体中，用于朝向转动件喷射流体，以移除积聚于转动件的颗粒物；所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆的旋转方向相匹配。
本发明授权一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 槽体； 支撑组件，位于所述槽体中，其为转动件，用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转；所述转动件为滚轮结构，其包括盘状的前端盖和后端盖，两者同心装配以形成限定待清洗晶圆的间隙，所述间隙内同心设置有垫圈，待清洗晶圆的外沿抵接于所述垫圈； 清洗刷，水平设置并绕其轴线滚动； 清洁件，位于所述槽体中，用于朝向转动件喷射流体，以移除积聚于转动件的颗粒物；所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆的旋转方向相匹配且远离晶圆所在区域；所述清洁件朝向所述间隙及垫圈的外周面喷射流体；所述清洁件朝向转动件的中心以下区域喷射流体，喷射的流体至少部分覆盖转动件与晶圆外沿的接触处对应的外周面； 至少一对冲洗件，其设置于晶圆两侧并相互交错地朝向晶圆边缘区域喷射流体；所述冲洗件的流体落点位于待清洗晶圆中心以下的区域，且与晶圆外沿的距离小于或等于50mm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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