恭喜江苏艾森半导体材料股份有限公司刘斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏艾森半导体材料股份有限公司申请的专利一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117055292B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210494614.4,技术领域涉及:G03F7/027;该发明授权一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件是由刘斌;向文胜;胡泽明;张兵;赵建龙;杨一伍;季学华设计研发完成,并于2022-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件在说明书摘要公布了:本发明提供一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件,所述负性感光性聚酰亚胺组合物含有下述成分a、b、c和d:a可溶于碱性水溶液的聚合物,b光聚合反应引发剂,c具有可聚合官能团的化合物,所述可聚合官能团包括不饱和的双键或三键,d热交联剂。本发明的负性感光性聚酰亚胺组合物未曝光于紫外光的部分易溶于碱性水溶液,而已曝光于紫外光的部分不溶于碱性水溶液,因而能够有效地复制精细的图案。此外,本发明的负性感光性聚酰亚胺组合物未曝光部分与曝光部分的溶解速度比对比度优异,并具有良好的分辨率、密合性、化学耐受性、以及保存稳定性。
本发明授权一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件在权利要求书中公布了:1.一种负性感光性聚酰亚胺组合物,其特征在于,所述负性感光性聚酰亚胺组合物由下述成分a、b、c、d、e、f、g和h组成: a可溶于碱性水溶液的聚合物; b光聚合反应引发剂; c具有可聚合官能团的化合物,所述可聚合官能团包括不饱和的双键或三键; d热交联剂; e溶剂; f烷氧基硅烷粘结剂; g防锈剂; h阻聚剂; 所述成分a具有式1所示的结构单元, 式1 其中,R每次出现时相同或不同地选自CH2=CH-COOCH2CH2-或CH2=CCH3-COOCH2CH2-;U为4价的有机基团,V为2价的有机基团,W为4价的有机基团; W每次出现时相同或不同地选自式4所示的4价有机基团中的任意一种: 式4 其中,R21-R26均为一价有机基团,各自独立地选自氢、氟原子、甲基或三氟甲基中的任意一种;Q为二价基团,选自氧原子、亚甲基、硫原子、砜基、羰基、CCH32或CCF32中的任意一种; V每次出现时相同或不同地选自式3所示的2价有机基团中的任意一种: 式3 其中,R10-R20均为一价有机基团,各自独立地选自氢、氟原子、甲基或三氟甲基中的任意一种;Y为二价基团,选自氧原子、亚甲基、硫原子、砜基、羰基、CCH32或CCF32中的任意一种; 所述成分c选自由式7-1和或式7-2所示的化合物, 其中,R40每次出现时相同或不同地选自氢原子或甲基,R41为碳原子数为3-8的亚烷基,R42每次出现时相同或不同地选自碳原子数为1-4的亚烷基,n为2-5的整数。
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