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恭喜长江存储科技有限责任公司张周获国家专利权

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龙图腾网恭喜长江存储科技有限责任公司申请的专利获取管控图常态控制范围的方法及装置、计算机可读介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114511028B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210110885.5,技术领域涉及:G06V10/762;该发明授权获取管控图常态控制范围的方法及装置、计算机可读介质是由张周;陈予郎;林超;彭东海设计研发完成,并于2022-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

获取管控图常态控制范围的方法及装置、计算机可读介质在说明书摘要公布了:本发明提供的获取管控图常态控制范围的方法包括如下步骤:接收原始参数数据;获取指标图;获取指标图中评估值的统计分布曲线图;分别获取统计分布曲线图中最左侧峰的左侧中心点评估值cl、最右侧峰的右侧中心点评估值cr、以及中间峰的中间中心点评估值cc;以左侧中心点评估值cl为均值、计算小于或者等于左侧中心点评估值cl的所有评估值的左侧标准差sl,并以右侧中心点评估值cr为均值、计算大于或者等于右侧中心点评估值cr的所有评估值的右侧标准差sr;获取与指标图对应的管控图的常态控制范围[cl―αsl―ρ,cr+αsr+ρ],其中,3.5≤α≤4,ρ为极小值,用于调整常态控制范围的误差。本发明提高了管控图常态控制范围设定的准确度和可靠性。

本发明授权获取管控图常态控制范围的方法及装置、计算机可读介质在权利要求书中公布了:1.一种获取管控图常态控制范围的方法,其特征在于,包括如下步骤: 接收生产机台对晶圆实施半导体制程处理过程中的原始参数数据; 根据所述原始参数数据获取一指标图,所述指标图为所述生产机台的单一评估值随时间的变化曲线; 获取所述指标图中所述评估值的统计分布曲线图; 分别获取所述统计分布曲线图中最左侧峰的左侧中心点评估值cl、最右侧峰的右侧中心点评估值cr、以及中间峰的中间中心点评估值cc; 以所述左侧中心点评估值cl为均值计算小于或者等于所述左侧中心点评估值cl的所有所述评估值的左侧标准差sl,并以所述右侧中心点评估值cr为均值计算大于或者等于所述右侧中心点评估值cr的所有所述评估值的右侧标准差sr; 获取与所述指标图对应的管控图的常态控制范围[cl-αsl-ρ,cr+αsr+ρ],其中,3.5≤α≤4,ρ为极小值,用于调整所述常态控制范围的误差。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长江存储科技有限责任公司,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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