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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆水平缓存装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113990783B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111533301.7，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种晶圆水平缓存装置是由许振杰;肖莹;孙传恽;郑树茂设计研发完成，并于2021-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆水平缓存装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆水平缓存装置，所述晶圆水平缓存装置包括支撑架和检测组件，所述支撑架用于水平支撑晶圆，所述检测组件设置于固定架，所述固定架位于水平支撑晶圆的两侧；所述检测组件包括信号收发部和匹配设置的反射部，其安装于所述固定架，所述信号收发部输出的光学信号朝向所述反射部发射，所述反射部将光学信号反射至所述信号收发部；所述检测组件根据所述信号收发部的接收的光学信号判定所述支撑架是否放置晶圆；所述检测组件还包括遮光板，其罩设于所述反射部的侧部；所述遮光板的表面配置有非镜面结构，以防止所述信号收发部发射的光线反射而干扰检测。

本发明授权一种晶圆水平缓存装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆水平缓存装置，其特征在于，包括支撑架和检测组件，所述支撑架用于水平支撑晶圆，所述检测组件设置于固定架，所述固定架位于水平支撑晶圆的两侧；所述检测组件包括信号收发部和匹配设置的反射部，其安装于所述固定架，所述信号收发部输出的光学信号朝向所述反射部发射，所述反射部将光学信号反射至所述信号收发部；所述检测组件根据所述信号收发部的接收的光学信号判定所述支撑架是否放置晶圆；所述检测组件还包括罩设于所述反射部的侧面的遮光板，还包括用于检测光学信号强度的光强传感器； 所述信号收发部倾斜朝向支撑架所在平面发射光学信号，其倾斜角度小于10°，使得发射的光线经由晶圆的所在平面；所述遮光板配置有偏心的透光孔，所述透光孔朝向反射部的投影形成腰形区域；所述反射部的腰形区域的外侧涂敷有吸光层，以吸收外部干扰信号，防止光学信号反射而干扰晶圆的检测； 所述支撑架的数量至少一个，其沿固定架的竖直方向间隔均匀设置；相邻支撑架配置的检测组件的信号收发部和反射部交错设置。

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