恭喜深圳市拉普拉斯能源技术有限公司林佳继获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市拉普拉斯能源技术有限公司申请的专利一种新型扩散方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171377B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111359969.4，技术领域涉及：H01L21/223；该发明授权一种新型扩散方法是由林佳继;祁文杰;梁笑;范伟;毛文龙;卢佳设计研发完成，并于2021-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型扩散方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种新型扩散方法，在炉管进气端增加匀流装置，使得气体进入炉管后被均匀打散，避免气流直接对硅片进行冲击，改善了炉尾上中下的片间差异。本发明通源时在近出气口处补充氮气，稀释掺杂源，将气体混合并推动，改善了局部掺杂源的浓度差异，提高了硅片方阻均匀性，可以在不改变现有的排气结构下改善排气管进口位置片间的均匀性，且对其他舟内的方阻无影响，可实现单独调控区域方阻。
本发明授权一种新型扩散方法在权利要求书中公布了：1.一种新型扩散方法，其特征是，包括以下步骤： 1将载有硅片的舟送入炉管中，将匀流装置放置于炉管内部，匀流装置靠近炉尾部，其中，所述匀流装置采用桶状结构，包括桶体，桶体一端开口，另一端连接封闭面，封闭面上设有开孔； 2抽真空检漏； 3炉管升温至770-790℃后，通入氧气和氮气，炉管压力为150-170mbar； 4恒温770-790℃，小氮携带POCl3源，混合氧气和大氮从炉尾进气，炉管压力为150-170mbar，其中，补气管从炉尾插入炉管，伸向炉口，补气管靠近炉口的那一端封闭，另一端开口，用于通入气体，补气管上设有气体出口，在补气管中通入惰性气体或和氮气； 5由770℃斜率升温至845℃，时间10min，升温过程中通入氧气、氮气，炉管压力为160mbar； 6恒温845℃，时间10min，在恒温的过程中，补充氮气，炉管压力为160mbar； 7降温，通氮气回到常压，出炉。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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