恭喜常州承芯半导体有限公司韩兴获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州承芯半导体有限公司申请的专利一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113810006B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111053511.6,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置是由韩兴;周建设计研发完成,并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置,其中,体声波谐振装置包括:第一层,第一层包括空腔;第一电极层,第一电极层的至少一端位于空腔内;压电层,位于第一电极层上,覆盖空腔,压电层包括第一侧及与第一侧相对的第二侧,第一电极层位于第一侧;第二电极层,位于第二侧,位于压电层上;以及至少一个侧空腔,位于第一层与压电层之间,嵌入第一层,与空腔相通,至少一个侧空腔的深度小于空腔的深度。在空腔的至少一边旁设置较浅的侧空腔,横向声波在压电层或电极层或边缘结构与侧空腔的交界处会发生反射,从而阻隔横向模态下朝向支撑层例如,基底、中间层传播的漏波,提升Q值。
本发明授权一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振装置,其特征在于,包括: 第一层,所述第一层包括空腔; 第一电极层,所述第一电极层的至少一端位于所述空腔内; 压电层,沿垂直方向位于所述第一电极层上,覆盖所述空腔,所述压电层包括第一侧及与所述第一侧沿所述垂直方向相对的第二侧,所述第一电极层位于所述第一侧; 第二电极层,位于所述第二侧,沿所述垂直方向位于所述压电层上,所述第一电极层、所述第二电极层及所述压电层的重合区域为第一区域;以及 至少一个侧空腔,位于所述第一层与所述压电层之间,嵌入所述第一层,与所述空腔相通,所述至少一个侧空腔的深度小于所述空腔的深度,所述至少一个侧空腔沿水平方向位于所述第一区域外侧;其中, 所述至少一个侧空腔用于阻隔横向模态下朝向第一层传播的漏波; 所述至少一个侧空腔包括:第一侧空腔,沿所述水平方向位于所述第一区域外侧,接触所述压电层,与所述第二电极层具有重合部; 所述至少一个侧空腔包括:第二侧空腔,沿所述水平方向位于所述第一区域外侧,位于所述第一层与所述第一电极层之间,接触所述第一电极层,与所述第一电极层具有重合部。
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