恭喜东京毅力科创株式会社网仓纪彦获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113823547B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110643230.X,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法是由网仓纪彦;北正知设计研发完成,并于2021-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法在说明书摘要公布了:本发明提供能够减少所占空间的收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法。收纳装置包括载置台、传感器、旋转部、收纳部和升降部。载置台载置消耗部件。传感器检测消耗部件的方向。旋转部基于由传感器检测出的消耗部件的方向,使消耗部件向规定的方向旋转。收纳部位于载置台的下部,收纳消耗部件。升降部使收纳部升降。
本发明授权收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法在权利要求书中公布了:1.一种收纳装置,其特征在于,包括: 载置消耗部件的载置台; 检测所述消耗部件的方向的传感器; 旋转部,其基于由所述传感器检测出的所述消耗部件的方向,使所述消耗部件向规定的方向旋转; 收纳部,其位于所述载置台的下部,收纳所述消耗部件;和 使所述收纳部升降的升降部, 所述旋转部使固定有所述载置台、所述收纳部和所述升降部的基座旋转。
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