恭喜圣邦微电子(北京)股份有限公司胡承志获国家专利权
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龙图腾网恭喜圣邦微电子(北京)股份有限公司申请的专利测试方法、服务器和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114755554B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011589860.5,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权测试方法、服务器和存储介质是由胡承志;邴春秋设计研发完成,并于2020-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试方法、服务器和存储介质在说明书摘要公布了:本公开涉及集成电路技术领域,提供了一种用于半导体成品检测的测试方法、服务器和存储介质,首先选定待确定参数非交叠的两个扫描区间;并基于这两个扫描区间,分别确定不同的基准值;而后分别以该不同的基准值作为起始值进行扫描,直至扫描得到的基准值满足预设阈值精度范围的两个目标值或者扫描结束为止;在扫描结束后输出不同的目标值和该不同目标值的平均值其中之一作为该待确定参数本次扫描的扫描结果,其中,该预设阈值为待确定参数的状态触发值。由此可在批量生产中保证成品测试参数满足精度要求的情况下,能够缩短测试时间、显著降低产品测试环节成本。
本发明授权测试方法、服务器和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体成品检测的测试方法,包括: 选定待确定参数的第一扫描区间和第二扫描区间,所述第一扫描区间和所述第二扫描区间非交叠; 基于所述第一扫描区间和第二扫描区间,确定本次扫描的第一基准值和第二基准值; 以所述第一基准值作为起始值进行扫描,直至扫描得到所述第一基准值满足预设阈值精度范围的第一目标值或者扫描结束为止,以及 以所述第二基准值作为起始值进行扫描,直至扫描得到所述第二基准值满足所述预设阈值精度范围的第二目标值或者扫描结束为止; 获取停止扫描时得到的所述第一目标值和第二目标值,输出所述第一目标值、第二目标值和二者的平均值的其中之一作为所述待确定参数本次扫描的扫描结果, 其中,所述预设阈值为所述待确定参数的状态触发值, 其中,所述以所述第一基准值作为起始值进行扫描,直至扫描得到所述第一基准值满足预设阈值精度范围的第一目标值或者扫描结束为止的步骤包括:以所述第一基准值作为起始值与预设阈值进行比较,根据其比较结果步进调节所述第一扫描区间的上限值或下限值,并基于调整后的第一扫描区间重新确定下一次扫描的第一基准值,直至扫描得到所述第一基准值满足所述预设阈值精度范围的第一目标值或者扫描结束为止, 所述以所述第二基准值作为起始值进行扫描,直至扫描得到所述第二基准值满足所述预设阈值精度范围的第二目标值或者扫描结束为止的步骤包括:以所述第二基准值作为起始值与所述预设阈值进行比较,根据其比较结果步进调节所述第二扫描区间的上限值或下限值,并基于调整后的第二扫描区间重新确定下一次扫描的第二基准值,直至扫描得到所述第二基准值满足预设阈值精度范围的第二目标值或者扫描结束为止。
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