恭喜ASML荷兰有限公司周子理获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于确定关于目标结构的信息的方法和量测工具及悬臂式探针获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207432B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080056802.8，技术领域涉及：G01N29/06；该发明授权用于确定关于目标结构的信息的方法和量测工具及悬臂式探针是由周子理;M·U·阿拉布尔;C·A·维索尔伦设计研发完成，并于2020-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于确定关于目标结构的信息的方法和量测工具及悬臂式探针在说明书摘要公布了：本公开涉及确定与使用光刻过程形成在衬底上的目标结构有关的信息。在一种布置中，提供具有悬臂和探针元件的悬臂式探针。所述探针元件从所述悬臂朝向所述目标结构延伸。在所述悬臂式探针中产生超声波。所述超声波通过所述探针元件传播到所述目标结构中并且从所述目标结构反射回到所述探针元件中或反射回到从所述悬臂延伸的另外的探针元件中。反射的超声波被检测并用于确定与所述目标结构有关的信息。
本发明授权用于确定关于目标结构的信息的方法和量测工具及悬臂式探针在权利要求书中公布了：1.一种确定与使用光刻过程形成在衬底上的目标结构有关的信息的方法，其中所述目标结构包括第一子结构和第二子结构，所述第一子结构与所述第二子结构重叠，所述方法包括： 提供悬臂式探针，所述悬臂式探针包括悬臂和探针元件，所述探针元件从所述悬臂朝向所述目标结构延伸； 在所述悬臂式探针中产生超声波，所述超声波通过所述探针元件传播到所述目标结构中并且从所述目标结构反射回到所述探针元件中或反射回到从所述悬臂延伸的另外的探针元件中；以及 检测反射的超声波并根据所检测的反射的超声波来确定与所述目标结构有关的信息， 其中，与所述目标结构有关的信息包括与所述第一子结构和所述第二子结构之间的重叠有关的信息，所述重叠表示所述第一子结构与所述第二子结构之间的未对准程度； 其中，基于所检测的反射的超声波的强度，以及表示所述强度相对于所述重叠的变化的函数来确定与所述重叠有关的信息； 其中通过将激光束引导到所述悬臂式探针上来执行所述超声波的产生。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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