恭喜株式会社大赛璐江口明良获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社大赛璐申请的专利单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110895383B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910862591.6,技术领域涉及:G03F7/039;该发明授权单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法是由江口明良;上原和浩;丸山孝设计研发完成,并于2019-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法在说明书摘要公布了:本发明的目的在于提供在形成耐溶胀性优异的光致抗蚀剂用树脂时有用的单体。本发明的光致抗蚀剂用树脂包含下述式Y所示的聚合单元,式Y中,RX表示卤原子或被卤原子取代的碳原子数为1~6的烷基,A1表示单键或连接基团,当A1表示连接基团时,A1和RX1任选相互键合而形成环,RX1表示氢原子、碳原子数为1~6的烷基、或碳原子数为2~6的烯基,n表示0~5的整数,当n为2以上时,RX1任选相同或不同,任选相互键合而形成环,m表示1~4的整数。
本发明授权单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法在权利要求书中公布了:1.一种光致抗蚀剂用树脂,其包含源自下式所示的单体中的任一种的聚合单元,
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