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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利基准部过滤自动晶片居中工艺和相关系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112703590B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980059362.9，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权基准部过滤自动晶片居中工艺和相关系统是由本杰明·W·莫瑞;达蒙·蒂龙·格内蒂设计研发完成，并于2019-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本基准部过滤自动晶片居中工艺和相关系统在说明书摘要公布了：传感器阵列中的每一传感器检测晶片的边缘何时通过机械手的晶片搬运部件上的传感器并发出信号。确定若干N个被检测的晶片边缘位置。每一被检测的晶片边缘位置是晶片搬运部件的坐标系统中的一组坐标x，y。针对所述若干N个被检测的晶片边缘位置中的每一唯一组N‑1个被检测的晶片边缘位置，确定基本上使性能指数值最小化的估计晶片偏移量。估计晶片偏移量是从晶片搬运部件的坐标系统的中心延伸至晶片的估计中心位置的向量。最终晶片偏移量被识别为具有最小的对应性能指数值的估计晶片偏移量。最终晶片偏移量用于使晶片在目标工作站居中。

本发明授权基准部过滤自动晶片居中工艺和相关系统在权利要求书中公布了：1.一种自动晶片居中的方法，其包含： 操作机械手以移动晶片搬运部件，使得所述晶片移动经过传感器阵列，所述传感器阵列内的每一个传感器配置为检测所述晶片的边缘何时通过所述传感器并且发出信号； 在所述晶片经过所述传感器阵列之后确定若干N个被检测的晶片边缘位置，每一被检测的晶片边缘位置由所述晶片搬运部件的坐标系统中的一组坐标x，y限定； 针对所述若干N个被检测的晶片边缘位置中的每一唯一组N-1个被检测的晶片边缘位置，确定基本上使性能指数值最小化的估计晶片偏移量，所述估计晶片偏移量被定义为从所述晶片搬运部件的所述坐标系统的中心延伸至所述晶片的估计中心位置的向量，所述估计晶片偏移量对应于被最佳配合至所述晶片搬运部件的所述坐标系统内的所述若干N个被检测的晶片边缘位置中的给定唯一组N-1个被检测的晶片边缘位置的圆的中心，其中所述性能指数值被限定为针对所述若干N个被检测的晶片边缘位置中的给定唯一组N-1个被检测的晶片边缘位置的在所述晶片的第i个被检测的晶片边缘位置的所述晶片的估计晶片半径与已知额定晶片半径之间的差的平方的和，其中最小化的性能指数值和相关联的估计晶片中心对应于被最佳配合至所述晶片搬运部件的所述坐标系统内的所述若干N个被检测的晶片边缘位置中的给定唯一组N-1个被检测的晶片边缘位置的所述圆，所述若干N个被检测的晶片边缘位置中的每一唯一组N-1个被检测的晶片边缘位置具有对应的估计晶片偏移量和对应的性能指数值； 将最终晶片偏移量识别为对应于具有最小的对应性能指数值的所述若干N个被检测的晶片边缘位置中的所述唯一组N-1个被检测的晶片边缘位置的所述估计晶片偏移量；以及 使用所述最终晶片偏移量以使所述晶片在目标站居中。

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