恭喜朗姆研究公司大卫·查尔斯·史密斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利使用ALE蚀刻金属氧化物衬底以及选择性沉积获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111373512B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880071476.0，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权使用ALE蚀刻金属氧化物衬底以及选择性沉积是由大卫·查尔斯·史密斯;理查德·怀斯;阿潘·马霍罗瓦拉;丹尼斯·M·豪斯曼设计研发完成，并于2018-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用ALE蚀刻金属氧化物衬底以及选择性沉积在说明书摘要公布了：提供了用于处理金属氧化物膜方法和设备。所述方法包含：a将所述金属氧化物膜暴露于卤化硼反应物，并用第一偏置功率点燃第一等离子体以使所述金属氧化物膜的表面改性；以及b在第二偏置功率下将所述金属氧化物膜的所述经改性的表面暴露于第二等离子体，并持续足以在没有溅射的情况下移除所述经改性的表面的时间。方法还包含c将金属氧化物材料选择性沉积在所述金属氧化物膜上，以填充所述金属氧化物膜内的裂缝。
本发明授权使用ALE蚀刻金属氧化物衬底以及选择性沉积在权利要求书中公布了：1.一种处理金属氧化物膜的方法，所述方法包含： 在处理室中接收碳基衬底上的EUV图案化金属氧化物膜，由此所述碳基衬底的一部分在所述金属氧化物膜的图案化特征中暴露；以及 a将所述碳基衬底上的所述金属氧化物膜暴露于卤化硼反应物，并用第一偏置点燃第一等离子体以使所述金属氧化物膜的表面改性； b在第二偏置下将所述金属氧化物膜的经改性的所述表面暴露于第二等离子体，并持续足以在没有溅射经改性的所述表面的下伏的未改性的金属氧化物膜的情况下移除经改性的所述表面的时间；以及 c相对于所述碳基衬底，将金属氧化物材料选择性沉积在所述金属氧化物膜上，以填充所述金属氧化物膜的所述表面上的裂缝。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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