买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜深圳市三维机电设备有限公司申请的专利一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119936058B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510413235.1，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法是由唐轩波;唐浩然;易波;段小平设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法，属于晶圆检测技术领域，包括检测柜以及装配于检测柜内顶壁上的相机，检测柜的内底壁通过开设安装槽装配有旋转单元，旋转单元包括转动连接于安装槽内的环架；通过设置的相机、旋转单元和凸轮件，实现了晶圆在检测过程中的自动旋转和倾斜，从而能够同时检测晶圆表面和边缘处的瑕疵，显著提高了检测效率，同时晶圆在检测过程中由平放状态逐渐倾斜至竖直状态的过程中能够呈现不同的检测视角，且在竖直状态下继续跟随环架公转的过程中会在面齿轮的驱使下使真空吸盘带动晶圆自转，使得晶圆边缘处所有位置都能被相机拍到，配合使用下，使得相机能够更全面地捕捉到晶圆表面和边缘处的瑕疵散射信号。

本发明授权一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置，包括检测柜以及装配于检测柜内顶壁上的相机，其特征在于，检测柜的内底壁通过开设安装槽装配有旋转单元，旋转单元包括转动连接于安装槽内的环架，环架开口处安装有多个安装座； 待检测的晶圆经转动连接于安装座内的真空吸盘吸附实现检测过程中的固定； 环架内底壁上装配有角度调节架，角度调节架通过斜曲柄与安装座相连接； 检测柜底部装配有支撑座，支撑座内装配有凸轮件，角度调节架跟随环架的旋转过程中在凸轮件的驱使下驱动安装座带动真空吸盘表面的晶圆由水平状态逐渐倾斜至竖直状态，实现对晶圆表面以及边缘处的检测； 角度调节架包括固定于环架内底壁上的滑轨，滑轨上滑动安装有滑块，滑块的顶端固定有一端与凸轮件外壁相贴合的导向杆，导向杆与凸轮件贴合的一端转动连接有滚轮，使导向杆于凸轮件上移动时更加的顺滑； 斜曲柄外壁上开设有导槽，导向杆的另一端转动连接有与导槽相适配的导柱，导向杆的另一端通过导柱滑动安装于导槽内； 安装座底部中心处固定有连接座，连接座的两侧均固定有轴柱，轴柱的一端转动连接有保持座，保持座的一端固定于环架的开口处，使安装座能够与环架转动连接，斜曲柄的一端与连接座相固定，斜曲柄在导向杆的驱使下向边缘处移动时能够带动安装座逐渐倾斜至竖直状态； 滑块的一侧装配有伸缩杆，伸缩杆的一端固定于环架内壁上，伸缩杆外表面套设有弹簧，使伸缩杆在收缩后能够自行复位； 真空吸盘外壁上固定套设有内齿环，凸轮件外壁的顶部可拆卸的固定有与竖直状态的内齿环相啮合的面齿轮，使真空吸盘在导向杆与凸轮件的配合下转动至竖直状态后能够在跟随环架公转的过程中在面齿轮的驱使下自转。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市三维机电设备有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区库坑同富裕工业区101、201,8-2号厂房1-2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。