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龙图腾网恭喜雅安宇焜芯材材料科技有限公司申请的专利一种气路内表面检测装置及氮化镓生产系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119936065B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510419721.4，技术领域涉及：G01N21/954；该发明授权一种气路内表面检测装置及氮化镓生产系统是由乔焜;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气路内表面检测装置及氮化镓生产系统在说明书摘要公布了：本发明涉及气路检测技术领域，具体涉及一种气路内表面检测装置及氮化镓生产系统。在检测装置中，第一视觉模块用于获取气路内表面检测装置前方的气路的内表面的全局图像数据。控制端用于根据全局图像数据确定瑕疵位置，并用于控制调节机构将罩体贴合于气路的内表面以使罩体将瑕疵位置罩住。第二视觉模块用于获取瑕疵位置的近距离图像数据。压缩机构用于对罩体内的气体进行压缩，气压检测模块用于检测罩体内的气压。控制端还用于根据压缩机构的压缩比和压缩后罩体内的气压确定瑕疵位置的瑕疵体积。其能够对气体输送的质量风险进行预防性评估，有助于减少气路问题对气体输送质量的不良影响。

本发明授权一种气路内表面检测装置及氮化镓生产系统在权利要求书中公布了：1.一种气路内表面检测装置，其特征在于，包括：机架、第一视觉模块、调节机构、罩体、压缩机构、第二视觉模块、气压检测模块和控制端； 所述机架具有行进机构；所述第一视觉模块安装于所述机架，以用于获取所述气路内表面检测装置前方的气路的内表面的全局图像数据； 所述调节机构设于所述机架，所述罩体安装于所述调节机构，所述压缩机构、所述第二视觉模块和所述气压检测模块均设于所述罩体之内； 所述控制端用于根据所述全局图像数据确定瑕疵位置，并用于控制所述调节机构将所述罩体贴合于气路的内表面以使所述罩体将所述瑕疵位置罩住；所述第二视觉模块用于获取所述瑕疵位置的近距离图像数据；所述压缩机构用于对所述罩体内的气体进行压缩，所述气压检测模块用于检测所述罩体内的气压； 所述控制端还用于根据所述压缩机构的压缩比和压缩后所述罩体内的气压确定所述瑕疵位置的瑕疵体积； 所述机架包括前架体和后架体；所述前架体靠近所述后架体的一侧具有朝所述后架体延伸的第一基准杆，所述后架体靠近所述前架体的一侧具有朝所述前架体延伸的第二基准杆；所述第一基准杆和所述第二基准杆同轴间隔设置； 所述调节机构包括：转动件、调节杆、第一驱动器和第二驱动器； 所述转动件设于所述第一基准杆和所述第二基准杆之间，所述第一基准杆和所述第二基准杆均与所述转动件转动配合；沿所述第一基准杆的轴向，所述第一基准杆和所述第二基准杆均与所述转动件固定配合； 所述调节杆垂直于所述第一基准杆设置并贯穿所述转动件，所述调节杆可滑动地配合于所述转动件； 所述第一驱动器设于所述第一基准杆或所述第二基准杆，以用于驱动所述转动件；所述第二驱动器设于所述转动件，以用于驱动所述调节杆滑动；所述罩体设于所述调节杆的端部； 所述行进机构包括：行走轮、第一传动轴、第二传动轴和动力机构； 所述前架体和所述后架体均设有所述行走轮，所述动力机构设于所述后架体； 所述第一基准杆和所述第二基准杆均呈管状；所述第一传动轴可转动地容置于所述第一基准杆，所述第二传动轴可转动地容置于所述第二基准杆；所述第一传动轴与所述前架体的所述行走轮传动配合，所述第二传动轴与所述动力机构传动配合； 所述第一传动轴靠近所述第二传动轴的一端端面开设有第一盲孔，所述第一盲孔偏心设置于所述第一传动轴，所述第一盲孔内滑动配合有第一磁性件；所述第二传动轴靠近所述第一传动轴的一端端面开设有第二盲孔，所述第二盲孔偏心设置于所述第二传动轴，所述第二盲孔内滑动配合有第二磁性件； 所述转动件开设有让位通孔，所述让位通孔沿所述第一基准杆的轴向延伸并贯穿所述转动件； 所述让位通孔内转动配合有转动芯，所述转动芯具有第一内腔；所述转动芯靠近所述第一传动轴的一侧开设有将外部与所述第一内腔连通的第一开口，所述转动芯靠近所述第二传动轴的一侧开设有将外部与所述第一内腔连通的第二开口； 所述第一内腔中设有第三磁性件；沿所述转动芯的周向，所述第三磁性件转动配合于所述转动芯内，且所述第三磁性件具有N极磁性区域和S极磁性区域；所述第三磁性件由第三驱动器驱动； 所述第三磁性件具有第一工作位置和第二工作位置；当所述第三磁性件处于所述第一工作位置时，所述第一开口和所述第二开口各自分别对应所述N极磁性区域和所述S极磁性区域中的任意一者，所述第一磁性件受所述第三磁性件的磁力吸引而伸入至所述第一开口当中，且所述第二磁性件受所述第三磁性件的磁力吸引而伸入至所述第二开口当中，以使所述第一传动轴与所述第二传动轴传动配合； 当所述第三磁性件处于所述第二工作位置时，所述第一开口和所述第二开口各自分别对应所述N极磁性区域和所述S极磁性区域中的另一者，所述第一磁性件受所述第三磁性件的磁力排斥而从所述第一开口当中退出，且所述第二磁性件受所述第三磁性件的磁力排斥而从所述第二开口当中退出，以使所述第一传动轴与所述第二传动轴之间的动力断开； 当所述气路内表面检测装置行进时，所述控制端控制所述第三磁性件处于所述第一工作位置；当需要检测所述瑕疵位置的瑕疵体积时，所述控制端控制所述第三磁性件处于所述第二工作位置。

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